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德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
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KLA Instruments太陽能電池量測解決方案2025/03/30
太陽能電池大多由單晶硅或多晶硅制成，將晶硅錠加工成太陽能電池需要一系列制造工藝，包括晶圓切割、制絨、酸洗、擴散、刻蝕、減反膜沉積、激光開槽、接觸印刷等。下圖為工藝流程中的測量節(jié)點。太陽能電池工藝流程中的量測節(jié)點,包括金剛石切割線的表面形貌、硅片翹曲/表面粗糙度/邊緣倒角、電池片表面金字塔絨面高度和寬度的表征、減反膜厚度和反射率，以及激光開槽、太陽能金屬柵線和主柵線的形貌。本篇應(yīng)用說明主要介紹采用KLAInstruments的Zeta™3D光學(xué)輪廓儀對太陽能電池的表面金字塔結(jié)構(gòu)、激光開槽、金屬柵線
薄膜方塊電阻和厚度測量—KLA45年電阻測量技術(shù)創(chuàng)新的桌面型解決方案2025/03/30
在半導(dǎo)體芯片等器件工藝中，后道制程中的金屬連接是經(jīng)過金屬薄膜沉積，圖形化和蝕刻工藝，最后在器件元件之間得到導(dǎo)電連接。對于半導(dǎo)體、PCB、平板顯示器、太陽能應(yīng)用和研發(fā)等不同行業(yè)，對各種金屬層（包括導(dǎo)電薄膜、粘附層和其他導(dǎo)電層）都有各種各樣的電阻和厚度的量測需求，KLAInstruments™Filmetrics®事業(yè)部能夠提供先進(jìn)的薄膜電阻測量解決方案。金屬薄膜的電阻測量主要包括兩種技術(shù)：四探針法和渦流法。兩種測量技術(shù)各有其優(yōu)勢，適用于不同的應(yīng)用場景。我們先來了解一下這兩種技術(shù)的測量原理。什么是四
新應(yīng)用—KLA納米壓痕儀對電池材料的測量2025/03/30
電池的應(yīng)用極為廣泛，其通常以電化學(xué)反應(yīng)池的形式為各類裝置供電。電池內(nèi)在失效和劣化對電池性能有重大影響，而其機制依賴于不同組成材料之間的電化學(xué)反應(yīng)和納米力學(xué)相互作用。下一代電池要求高能量密度和高充放電倍率（C-rate，充放電速率的一種衡量標(biāo)準(zhǔn)）。為此，業(yè)界在新材料、制造工藝和集成工藝等方面做出了巨大努力，以優(yōu)化電池在更寬溫度范圍內(nèi)的性能。為了提高良率并擴大生產(chǎn)規(guī)模，了解電池的失效模式及其根本原因至關(guān)重要。典型的電池失效模式可分為三類：力學(xué)失效、熱失效和電氣失效。01電池制造典型的電池制造流程包括
基于KLA探針式輪廓儀的薄膜應(yīng)力測量2025/03/29
隨著器件尺寸不斷縮小，表面翹曲度可能引發(fā)一些問題從而影響器件的正常功能。在半導(dǎo)體中，薄膜應(yīng)力對半導(dǎo)體能帶隙偏移、超導(dǎo)轉(zhuǎn)變溫度和磁各向異性等電子特性有直接影響。在器件制造過程中，監(jiān)控因薄膜沉積而產(chǎn)生的應(yīng)力至關(guān)重要。在薄膜層面，應(yīng)力通常會影響薄膜的附著力并產(chǎn)生晶格缺陷和表面再構(gòu)，從而限制厚層薄膜的生長。在器件層面，應(yīng)力的形成很少會直接導(dǎo)致良率下降，而是會縮短產(chǎn)品使用壽命。使用壽命縮短會導(dǎo)致每年在產(chǎn)品服務(wù)和保修方面花費數(shù)百萬美元，這是一個重大問題。結(jié)合成熟的應(yīng)力計算理論模型與KLA探針式輪廓儀的精密測
IC載板制造商需要了解的光刻技術(shù)信息2025/03/28
圖像轉(zhuǎn)移，也稱為光刻技術(shù)（或簡稱光刻），在PCB的電路圖形方面發(fā)揮關(guān)鍵作用。它能實現(xiàn)復(fù)雜和精確的連接，以支持在更小的區(qū)域?qū)崿F(xiàn)更多連接。隨著對更高密度的電路板和更小線寬間距的需求不斷增加，線路必須以高精度和均勻度制成。針對先進(jìn)應(yīng)用，各種先進(jìn)IC載板（ICS），如條狀覆晶-芯片尺寸封裝（FC-CSP）和覆晶芯片球柵陣列（FC-BGA）需要高分辨率和準(zhǔn)確度。光刻對于先進(jìn)IC載板-其特點是單元尺寸大，層數(shù)高和細(xì)線路-圖形轉(zhuǎn)移為制造商帶來了新的挑戰(zhàn)，特別是在表面高低不均的情況下成像。IC載板制造商必須制造
鈣鈦礦太陽能電池超薄膜厚度測量應(yīng)用 — KLA表面輪廓儀2025/03/28
鈣鈦礦材料因其優(yōu)異的光電特性，近年來一直受到高度關(guān)注。相應(yīng)的鈣鈦礦太陽能電池在柔性太陽能電池領(lǐng)域和疊層太陽能電池領(lǐng)域也有廣泛應(yīng)用前景。早在2009年，鉛基鈣鈦礦材料第一次被應(yīng)用到太陽能電池中，其光電轉(zhuǎn)化效率為3.8%1。近些年來，通過組分調(diào)控，界面調(diào)制，缺陷優(yōu)化，能級調(diào)整等手段，鈣鈦礦太陽能的光電轉(zhuǎn)化效率已經(jīng)提高至26.7%2。而疊加硅基太陽能電池以后，組合而成的疊層太陽能電池器件的光電轉(zhuǎn)化效率能提高到33.9%2。相關(guān)的研究表明，鈣鈦礦太能電池器件的光電轉(zhuǎn)化率和器件關(guān)鍵層的薄膜質(zhì)量息息相關(guān)。所
TOPCon 太陽能電池片的方阻測試— KLA R54 系列2025/03/28
在全球各國努力減少碳足跡與追尋可持續(xù)能源的大背景下，太陽能行業(yè)經(jīng)歷了顯著增長。在基于晶體硅(c-Si)的多種工藝路線中，隧穿鈍化接觸太陽能電池(TOPCon)因其高光伏轉(zhuǎn)換效率(PCE)和高性價比而脫穎而出。目前工業(yè)TOPCon電池的最高PCE已達(dá)到25.42%（2024年6月JinkoSolar公開數(shù)據(jù)），接近約29%的理論極限。對于更高PCE的追求同時對工藝控制和監(jiān)測也是新的挑戰(zhàn)。太陽能電池的性能表現(xiàn)取決于導(dǎo)電性、接觸電阻和復(fù)合速率之間的精細(xì)平衡，而這些參數(shù)都受到摻雜濃度的高度調(diào)控，因此監(jiān)控
等離子清洗機的應(yīng)用2019/02/13
可用在以下領(lǐng)域：農(nóng)業(yè)育種：（有相關(guān)的參考文獻(xiàn)）隨著低溫等離子技術(shù)的不斷成熟，近些年等離子體種子處理技術(shù)已開始應(yīng)用于農(nóng)業(yè)育種等方面，這在國內(nèi)外尚屬新的研究領(lǐng)域。該技術(shù)是通過利用等離子體沖刷種子表面，來增強種子的活力，從而使處理過后的農(nóng)作物從萌發(fā)到成熟整個生育周期都具有更強的生長優(yōu)勢，達(dá)到增產(chǎn)、抗逆的目的：明顯提高發(fā)芽勢和發(fā)芽率，減輕病蟲害，增強抗逆性，生長優(yōu)勢明顯，促進(jìn)早熟、增加產(chǎn)量。橡塑行業(yè):利用等離子體技術(shù)對聚丙烯、PTFE等這些沒有極性的橡膠塑料材料進(jìn)行表面處理，這些材料結(jié)構(gòu)表面得以zui大
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