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中級(jí)會(huì)員 | 第9年
氫氣發(fā)生器在CVDMOCVD行業(yè)的運(yùn)用2020/04/22
氫氣在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用半導(dǎo)體制造技術(shù)作為信息時(shí)代制造的基礎(chǔ),堪比工業(yè)時(shí)代的機(jī)床,是整個(gè)社會(huì)發(fā)展的基石和原動(dòng)力。在產(chǎn)業(yè)分工格局重塑的關(guān)鍵時(shí)期,我國(guó)也提出了《中國(guó)制造2025》,以通過(guò)智能制造實(shí)現(xiàn)由制造大國(guó)向制造強(qiáng)國(guó)的轉(zhuǎn)換。智能制造(工業(yè)4.0)的實(shí)現(xiàn),以各種信息器件的使用為基礎(chǔ),半導(dǎo)體制造技術(shù)正是其制造的核心技術(shù)。而氫氣作為半導(dǎo)體制造中的氣源,在半導(dǎo)體材料及器件制備中起到至關(guān)重要的作用??稍诠怆娖骷?、傳感器、IC制造中應(yīng)用。目前半導(dǎo)體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長(zhǎng)、干法刻蝕等工藝。退火是通過(guò)高
蒸發(fā)光檢測(cè)器載氣為什么用氮?dú)?2020/04/22
蒸發(fā)光散射檢測(cè)器(elsd)是一種通用型的檢測(cè)器,可檢測(cè)揮發(fā)性低于流動(dòng)相的任何樣品,而無(wú)需發(fā)色基團(tuán)。elsd靈敏度比示差折光檢測(cè)器高,對(duì)溫度變化不敏感,基線(xiàn)穩(wěn)定,適合與梯度洗脫液相色譜聯(lián)用。已被廣泛應(yīng)用于碳水化合物、類(lèi)脂、脂肪酸、氨基酸、藥物以及聚合物等的檢測(cè),尤其是中藥及中成藥的無(wú)紫外吸收的有效成分測(cè)定。蒸發(fā)光檢測(cè)器原理:將柱洗脫液霧化形成氣溶膠,然后在加熱的漂移管中將溶劑蒸發(fā),余下的不揮發(fā)性溶質(zhì)顆粒在光散射檢測(cè)池中得到檢測(cè)。霧化蒸發(fā)檢測(cè)經(jīng)hplc分離的柱洗脫液進(jìn)入霧化器,在此與穩(wěn)定的霧化氣體
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