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上周NMC專業(yè)的售后服務(wù)工程師至渭南師范學(xué)院完成了原子層沉積系統(tǒng)NLD-3000的安裝調(diào)試，并順利驗收！
NLD-3000是一款PC全自動工藝控制的臺式ALD系統(tǒng)，包含完整的安全聯(lián)鎖功能，能夠沉積氧化物、氮化物、硫化物、氟化物、金屬等高品質(zhì)的薄膜，達到光學(xué)級別的表面粗糙度。陽極氧化鋁腔體采用內(nèi)外雙層上下結(jié)構(gòu)設(shè)計，加熱腔壁和氣動升降頂蓋，一鍵實現(xiàn)頂蓋開啟/閉合。系統(tǒng)集成快速脈沖傳輸閥和多孔大面積加熱的ALD過濾器，可吸收多余前驅(qū)體。工藝程序、溫度設(shè)定值、氣體流量、抽真空卸真空工序、以及對傳輸管路的吹掃均通過LabView軟件全自動控制。
以下為現(xiàn)場安裝圖：整機圖、腔體及ICP離子源、軟件控制界面。
售后工程師首先進行安裝區(qū)域準備工作，確保有足夠的空間放置設(shè)備主體和配套設(shè)備（如空壓機、機械泵、冷水機等），之后進行氮氣、壓縮空氣、冷卻水、前級泵等管路連接，確保電源和線路連接正確后，安裝前驅(qū)體瓶，后開機調(diào)試，并對在場師生進行講解培訓(xùn)，指導(dǎo)客戶自主創(chuàng)建工藝程序，進行打樣測試，并順利完成驗收！
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