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近日，三英精控牽頭承擔(dān)的2020年國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題“大型顯示面板前端制造工藝納米尺度物性在線測(cè)量與質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng)”在武漢完成項(xiàng)目驗(yàn)收。項(xiàng)目向基金委高技術(shù)中心的專家們現(xiàn)場(chǎng)展示了在工況環(huán)境中進(jìn)行大型OLED顯示面板納米尺度量測(cè)的工作，包括多晶硅晶粒分析和RDL的尺度精測(cè)等項(xiàng)目指標(biāo)內(nèi)容。

項(xiàng)目執(zhí)行團(tuán)隊(duì)密切合作，克服了新冠疫情期間物料供應(yīng)，研發(fā)工作和合作交流的種種困難，按時(shí)完成了項(xiàng)目。項(xiàng)目研發(fā)了一套可以用質(zhì)量管控的納米測(cè)量系統(tǒng)，包括大型實(shí)驗(yàn)平臺(tái)原子力顯微鏡（見圖），與AGV/MGV對(duì)接的全自動(dòng)裝樣和測(cè)量尋址系統(tǒng)，并實(shí)時(shí)將分析數(shù)據(jù)上拋到EDA產(chǎn)線質(zhì)量管控系統(tǒng)。項(xiàng)目還開發(fā)了產(chǎn)線高噪音環(huán)境進(jìn)行原位噪音補(bǔ)償?shù)男录夹g(shù)，用于保證高信噪比的納米形貌測(cè)量。根據(jù)國(guó)家情報(bào)所和上海情報(bào)所的查新報(bào)告，該項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)的創(chuàng)新，并在產(chǎn)線噪音環(huán)境中的大尺寸試樣的納米測(cè)量達(dá)到了預(yù)期水平。

電子顯示屏制造業(yè)近年來(lái)持續(xù)保持強(qiáng)勁增長(zhǎng)勢(shì)頭，年產(chǎn)值規(guī)模不斷擴(kuò)大。然而，我國(guó)在顯示制造領(lǐng)域仍存在測(cè)量技術(shù)瓶頸，尤其是在大型顯示面板的檢測(cè)方面。當(dāng)被測(cè)面板尺寸＞1.5m時(shí)，將遠(yuǎn)超現(xiàn)有納米測(cè)量設(shè)備的承載范圍，只能抽樣并裁剪后進(jìn)行離線檢測(cè)，造成大型顯示面板檢測(cè)效率低、成本高、良率低下的問(wèn)題。針對(duì)上述挑戰(zhàn)，由三英精控牽頭聯(lián)合包括天津大學(xué)，沈陽(yáng)自動(dòng)化所，廣東工業(yè)大學(xué)，深圳明銳儀器和華星半導(dǎo)體公司等多家優(yōu)秀高校院所和企業(yè)，共同開展產(chǎn)學(xué)研合作，完成了具有精密納米測(cè)量指標(biāo)的支持大尺度試樣的大型原子力顯微鏡的研發(fā)。并于近日在顯示屏產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了在線檢測(cè)，達(dá)到了預(yù)定目標(biāo)，有效解決了顯示制造行業(yè)在大型顯示面板在線檢測(cè)方面所面臨的難題。

此次原子力顯微鏡在大型顯示面板在線檢測(cè)方面的成功應(yīng)用，將促進(jìn)電子顯示屏制造業(yè)的升級(jí)和發(fā)展。不僅提升了電子顯示屏制造業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，也為我國(guó)在顯示制造領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)力提升提供了有力支撐。

這臺(tái)應(yīng)用于大型顯示面板在線檢測(cè)的國(guó)產(chǎn)原子力顯微鏡樣機(jī)的誕生，不僅標(biāo)志著三英精控在高精尖科技設(shè)備領(lǐng)域邁出了堅(jiān)實(shí)的一步，更彰顯了我司在超精密運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域的強(qiáng)大實(shí)力和創(chuàng)新能力。三英精控針對(duì)超大型薄試樣的長(zhǎng)機(jī)械回路，構(gòu)建了跨尺度高速高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，采用宏-微-納三級(jí)7個(gè)自由度的聯(lián)動(dòng)協(xié)同精準(zhǔn)控制，同時(shí)保證了大行程、高精度。

縱觀市場(chǎng)，無(wú)論是半導(dǎo)體制造、新材料研發(fā)，還是生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，對(duì)于納米尺度的物性在線測(cè)量與質(zhì)量監(jiān)控都有著迫切的需求。相信隨著這臺(tái)原子力顯微鏡的進(jìn)一步完善和推廣應(yīng)用，它將在更廣泛的領(lǐng)域中發(fā)揮重要作用。同時(shí)，我們也期望與眾多合作伙伴加強(qiáng)合作，推動(dòng)科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級(jí)的深度融合，為實(shí)現(xiàn)科技強(qiáng)國(guó)夢(mèng)貢獻(xiàn)更多的力量。