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瑞士VAT閥67.0 - 對稱控制/真空閥

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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個(gè)市場有一批受眾用戶,因業(yè)務(wù)發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購進(jìn)貨,您可以避免國內(nèi)合作商、辦事處和經(jīng)銷商的分級合作商,層層盤剝的模式,享受到價(jià)格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購服務(wù)。

對于一些德國產(chǎn)品,我們通過集中批量采購以獲取廠商較大折扣,可以提供比國內(nèi)市場價(jià)格更低的報(bào)價(jià)。

能夠提供不同國別、廠商的設(shè)備配件,解決您多處尋找的麻煩和對產(chǎn)品質(zhì)量的擔(dān)心等,在價(jià)格上我們有很大的優(yōu)勢,公司備有大量的現(xiàn)貨,是國內(nèi)庫存量Z多的公司之一,以更專業(yè)的服務(wù),把咨詢,銷售,售后服務(wù)一整套體系做的更完善,讓客戶能夠更放心的購買我們的產(chǎn)品,對我們的服務(wù)有更滿意的評價(jià)!

我們客戶遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢品牌主要有:

德國寶德BURKERT,德國BOSCH-REXROTH博世力士樂,德國FESTO費(fèi)斯托,

德國STEIMEL施*泵,德國HIRSCHMAN赫斯曼,德國HYDAC賀德克,

德國IFM易福門,德國TURCK圖爾克,德國MURR穆爾,德國HAWE哈威,

美國紐曼帝克,美國AB,美國FAIRCHILD仙童,美國DENISON丹尼遜,

德國P F倍加福,德國BALLUFF巴魯夫,德國SICK施克,德國E H,

意大利UNIVER氣動(dòng),意大利ATOS阿托斯,美國VICKERS威格士,

德國GSR閥,法國CROUZET高諾斯,德國PILZ皮爾茲繼電器,

德國SCHMERSAL施邁賽,德國SIEMENS西門子,美國ROSS閥,

美國MAC電磁閥,美國PARKER派克,美國MOOG穆格伺服閥,

美國派克電磁閥,美國威格士電磁閥,美國ASCO阿斯卡,

德國STAUFF西德福,德國NEGELE耐格,德國EMG伺服閥,

德國MAHLE馬勒,德國海隆HERION,英國諾冠NORGREN,

美國UE壓力開關(guān),美國MTS位移傳感器,

以及法國高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

公司具有豐富的氣動(dòng)工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗(yàn),多年來與世界各國的較有名廠商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢,以靈活的經(jīng)營方式,多渠道,*地為客戶提供先進(jìn)的自動(dòng)化產(chǎn)品。

在此歡迎來電垂詢,我們將竭誠為您服務(wù),客戶的滿意,就是我們的成功!

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT閥67.0 - 對稱控制/真空閥

67.0 系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計(jì),可用作下游控制和隔離閥。

工藝室內(nèi)的氣流特性直接影響工藝速度和質(zhì)量。盡管傳統(tǒng)上,工藝設(shè)計(jì)最注重氣體流入,但下游氣流同樣有助于工藝優(yōu)化。

通常,晶圓周圍的氣流越均勻,晶圓上的氣體反應(yīng)就越平穩(wěn)、越同步。

這不僅適用于氣體引入階段,還適用于氣體從艙室排出階段。出口位置設(shè)計(jì)或閥門操作期間的流動(dòng)路徑變化可能造成氣體分布不對稱,阻礙氣體排出或產(chǎn)生不均勻的流速。兩者都可能以不同的氣體暴露時(shí)間和不平衡對流的形式對晶圓造成負(fù)面影響。此外,兩者都可能導(dǎo)致工藝耗氣量增加、流程時(shí)間延長。

解決方案是對整個(gè)流程周期的氣流設(shè)計(jì)進(jìn)行優(yōu)化。67.0對稱控制閥為這種方法奠定了新基礎(chǔ)。

采用流量優(yōu)化設(shè)計(jì),還能以全新方式設(shè)計(jì)工藝室。借助其特殊的打開和關(guān)閉機(jī)構(gòu),氣流在整個(gè)開關(guān)周期中對稱分布,實(shí)現(xiàn)流量和壓力控制。“軟接觸”隔離功能強(qiáng)化了這一點(diǎn)。67.0 對稱控制閥移動(dòng)平緩,可避免任何關(guān)閉沖擊,從而減少粒子生成量。

67.0 對稱控制閥的另一優(yōu)勢是占用空間小。相較于其他解決方案,所需的安裝空間更少。

67.0 對稱控制閥與氣流優(yōu)化的頂噴和艙室設(shè)計(jì)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了全新過程控制水平。這有助于提高產(chǎn)量質(zhì)量和縮短循環(huán)周期,從而提高生產(chǎn)率。

67.0 對稱控制閥可提供 DN 為 250-450 mm (10"–18") 的尺寸。閥體材料為鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁。泵側(cè)的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-F 或 JIS。艙室法蘭采用專有設(shè)計(jì)。法蘭、閥板和驅(qū)動(dòng)器采用彈性體密封。饋通件采用波紋管密封。閥板加熱器為選件。

67.0 對稱控制閥由兩個(gè)帶有閉環(huán)控制步進(jìn)電機(jī)的同步線性驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)?,F(xiàn)代 32 位控制器可借助個(gè)人計(jì)算機(jī)或 PCU 通過各種標(biāo) 準(zhǔn)端口進(jìn)行連接。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件能夠詳細(xì)監(jiān)測 67.0 對稱控制閥并調(diào)整周期性運(yùn)動(dòng)。

67.0 對稱控制閥計(jì)劃在維護(hù)前,進(jìn)行200 萬次控制周期和 20 萬次隔離周期??煽焖佥p松地完成更換密封件等維護(hù)要求。

瑞士VAT閥67.0 - 對稱控制/真空閥



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