半導(dǎo)體單片刻蝕清洗設(shè)備
- 公司名稱 無錫亞電智能裝備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 江蘇無錫
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2020/3/9 9:32:11
- 訪問次數(shù) 583
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 專用型 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
產(chǎn)品詳情
單片刻蝕設(shè)備
- 滿足SEMI S2、SEMI S8和CE標(biāo)準(zhǔn)；
- 結(jié)構(gòu)合理緊湊，占地面積?。?
- 配置ULPA FFU ,帶CDS供液及回收系統(tǒng)， 自動(dòng)補(bǔ)液配液（通常3種藥液）；
- Chamber內(nèi)正面2~3個(gè)Dispenser 及一個(gè)Fix Nozzle, 背面帶DI Nozzle；
- MTTR: 小于60min，MTBF: 小500Hour；
- 配置離子發(fā)生器及高清攝像頭；
- 4~24 個(gè)腔體。
大家好！無錫亞電智能裝備有限公司是半導(dǎo)體晶圓行業(yè)濕法制程服務(wù)商，專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術(shù)，是*批推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的企業(yè)之一。公司核心產(chǎn)品為6吋、8吋、12吋濕法刻蝕清洗設(shè)備，包括槽式設(shè)備和單片設(shè)備，涵蓋多種前道濕法工藝，如：B Clean，Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等。此外，為應(yīng)對(duì)個(gè)性化的清洗需求，公司還研發(fā)了多種輔助清洗機(jī)臺(tái)，如：爐管清洗機(jī)，片盒清洗機(jī)，部件清洗機(jī)，本地化學(xué)品供液設(shè)備，濕法工作臺(tái)，烘箱等。目前已與無錫上華、寧波中芯、廣州粵芯、無錫華虹、重慶華潤(rùn)微電子等客戶達(dá)成友好合作。
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