HMPS-2060P 微波等離子體 CVD設(shè)備

◆微波反應(yīng)腔新型設(shè)計(jì)，功率密度大。

◆產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高。

◆開關(guān)型微波電源，微波輸出穩(wěn)定性高。

◆適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長(zhǎng)等。

◆性能*，安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好，操作簡(jiǎn)便。

◆多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、采集與記錄，PLC屏幕控制，多重聯(lián)鎖保護(hù)。

HMPS-2060P 微波等離子體 CVD設(shè)備

（1）型號(hào)HMPS-2060S

（2）電源AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入＜10KVA

（3）微波輸出功率0.5~6kW 連續(xù)可調(diào)

（4）功率穩(wěn)定度優(yōu)于2%

（5）紋波≤1%

（6）微波頻率    2450MHz±50MHz

（7）測(cè)溫方式     紅外300~1400℃

（8）極限真空度6×10-6torr

（9）腔體內(nèi)工作壓力   7torr~250torr

（10）樣品臺(tái) Φ60mm

（11）樣品臺(tái)軸向調(diào)節(jié)范圍 0-60mm

（12）工作氣氛五路（可用戶定制）

（13）微波泄漏值 ＜5mW/cm2

（14）工作環(huán)境  溫度15-40℃，相對(duì)濕度≤60%，無(wú)腐蝕性氣體

（15）冷卻水＞22L/Min