荷蘭 HIGH VOLTAGE濺射潘寧離子源

HIGH VOLTAGE濺射潘寧離子源 MODEL SO-90

High Voltage濺射潘寧離子源 Model SO-90主要特點
? 易于操作和維護
? 低功耗
? 使用壽命長
? 近光燈發(fā)射
? 高亮度

荷蘭 HIGH VOLTAGE濺射潘寧離子源 一般描述
HVEE SO-90 型濺射潘寧離子源幾乎可以電離所有熔點不太低的導電固體，包括那些蒸氣壓非常低的固體，如鎢和鉭。
在這個源中，陰極由要電離的元素制成。來自氬氣或氖等離子體放電的正離子撞擊陰極，并將所需的材料濺射到等離子體中。特殊的源幾何形狀導致等離子體中濺射材料的密度高，并且結合
濺射材料的沉積速率低。
每個 SO-90 離子源都包含滿足第一需求的備件。

High Voltage Engineering Europa B.V. 提供的其他類型的 pening 離子源包括：
– SO-60 型冷陰極潘寧離子源 – SO-100 型熱陰極潘寧離子源

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