產(chǎn)品規(guī)格：

PEEK Cassette系列介紹：

適用于制程間晶圓的傳送。產(chǎn)品尺寸符合適配業(yè)內(nèi)主流規(guī)范，也可依照客戶要求進行定制化設(shè)計。

產(chǎn)品材料滿足：

避免晶圓受到靜電傷害

超低氣體釋放

超低雜質(zhì)含量

耐磨且保護晶圓

耐高溫制程

產(chǎn)品主要指標

晶圓承載量：25

D1距：14.54mm（0.57")

槽距：4.76mm（0.19")

槽最窄距：1.52mm（0.06")

主營產(chǎn)品：

1、超純PFA管閥部件，可適用于化學品供應系統(tǒng)、混合分配系統(tǒng)、制程設(shè)備、化學品處理回收：管道、接頭、閥門、流量計、過濾器等。

2、超純PFA填料，在電子級氫氟酸、過氧化氫、硫酸、硝酸、鹽酸、氫氧化鉀、顯影液、刻蝕液等高純電子化學品產(chǎn)線建立起關(guān)鍵作用。

3、PEEK晶圓載具，4寸、4.125寸、6寸、8寸等PEEK晶舟以及專用光罩盒、通用光罩盒。