1. 產(chǎn)品概述

eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫。

2. 設(shè)備用途/原理

eVictor系列 8英寸通用物理氣相沉積系統(tǒng)，加熱基座設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性，高溫厚鋁工藝連續(xù)作業(yè)無累溫，高溫鋁工藝具備高深寬比填充能力，背金工藝薄片傳輸及工藝，過程溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控，優(yōu)異的溫度和應(yīng)力控制能力，雙腔傳輸平臺(tái)，多可支持 10 個(gè)工藝模塊，靶材利用率高，大產(chǎn)能，低運(yùn)營(yíng)成本。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 6、8 英寸，適用材料 鈦、氮化鈦、鋁、 鎳、鎳釩、銀。適用工藝 鋁線、正面電工藝、背面金屬化工藝等。適用域 科研、化合物半導(dǎo)體、集成電路。