1. 產(chǎn)品概述

PD-2201LC 是一種盒式裝載等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 設(shè)備，能夠沉積硅基薄膜（氧化硅、氮化硅、氧氮化硅和非晶硅）。該系統(tǒng)在節(jié)省空間的提下提供了PECVD的所有標(biāo)準(zhǔn)功能。可在直徑220毫米的區(qū)域內(nèi)沉積具有優(yōu)異厚度均勻性和應(yīng)力控制的薄膜，并具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。用戶友好的觸摸屏界面，用于參數(shù)控制和配方存儲(chǔ)。該系統(tǒng)是大規(guī)模生產(chǎn)用薄膜沉積的理想選擇，具有優(yōu)異的重復(fù)性。

2. 設(shè)備用途/原理

SiH4-SiNx、SiH4-SiO2、液體驅(qū)體(SN-2)SiNx、TEOS-SiO2。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

大加工范圍：?220 mm (?3" x 5, ?4" x 3, ?8" x 1)。優(yōu)異的均勻性和應(yīng)力控制。工藝穩(wěn)定性和可重復(fù)性。堅(jiān)固的系統(tǒng)，低的運(yùn)行/維護(hù)成本。用戶友好的觸摸屏界面，用于參數(shù)控制和配方存儲(chǔ)。PD-2201LC設(shè)計(jì)時(shí)尚、節(jié)省空間，只需小的潔凈室空間。雙頻(13.56 MHz + 400 kHz)PECVD，用于過(guò)程控制。