HR600 日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 蝕刻裝置用
| 參考價 | ￥ 8452 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 深圳市京都玉崎電子有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 HR600
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/6/6 14:00:18
- 訪問次數(shù) 316
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光學(xué)設(shè)備、電子計測儀器、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、物流保管用品、化學(xué)用品、FA自動化
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 1千-2千 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 蝕刻裝置用
日本ULVAC愛發(fā)科 干式真空泵 蝕刻裝置用
特點
高溫區(qū)域均熱化
實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。通信功能
可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
規(guī)格
| 型號 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | |||||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | ||||||
| 機械增壓泵 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | m3/h (L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | |||||
| 60Hz | m3/h (L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | ||||||
| 到達(dá)壓力 | Pa | 5 | 0.67 | |||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 *1 | |||||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | Pa | 1~ 大氣壓 | ||||||||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排氣口 | KF40 | |||||||||||
| 質(zhì)量 | kg | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | ||||||
| 電源 | 三相 | VAC (Hz) | 200(50/60), 220(60) | |||||||||
| 電流值 | 穩(wěn)定時 | A | 7.1 (at 200V) | 11.2 (at 200V) | 7.8 (at 200V) | 12.9 (at 200V) | 15.4 (at 200V) | |||||
| 最大值 | A | 7.3 (at 200V) | 11.8 (at 200V) | 8.1 (at 200V) | 13.8 (at 200V) | 18.9 (at 200V) | ||||||
| 冷卻水一次圧力 | MPa | 0.1~0.3 | ||||||||||
| 冷卻水出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||||||
| 冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||||
| 二次壓力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||||
| N2吹掃 | 軸 | SLM | 5 | |||||||||
| 氣鎮(zhèn) | SLM | 0~45 | ||||||||||
*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。
ULVAC 廠商介紹：
1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創(chuàng)建的風(fēng)險投資公司，他們希望“通過真空技術(shù)為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)”。
自成立以來，ULVAC一直珍視這種創(chuàng)業(yè)精神，并與廣泛行業(yè)的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導(dǎo)體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業(yè)設(shè)備，ULVAC接受了利用技術(shù)進(jìn)行創(chuàng)新并努力創(chuàng)造新價值的挑戰(zhàn)。
追求真空技術(shù)創(chuàng)造新價值
ULVAC集團是一家企業(yè)集團，為廣泛的行業(yè)全面提供各種真空技術(shù)，包括真空設(shè)備、真空設(shè)備、材料、分析設(shè)備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內(nèi)，零部件業(yè)務(wù)部門是一組負(fù)責(zé)開發(fā)、制造和銷售構(gòu)成真空設(shè)備的各種真空設(shè)備的公司。真空設(shè)備的性能是由這些追求真空技術(shù)的真空設(shè)備支撐的。
通過與客戶的溝通，共創(chuàng)繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域和不斷發(fā)展的技術(shù)。
盡管ULVAC現(xiàn)在的組織比成立時規(guī)模更大，但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續(xù)利用集團的集體力量和創(chuàng)新精神，以速度感響應(yīng)各領(lǐng)域的需求，為工業(yè)和科學(xué)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
零部件事業(yè)部
ULVAC株式會社 零部件事業(yè)部
愛發(fā)科機工株式會社
愛發(fā)科低溫有限公司
愛發(fā)科（寧波）有限公司
韓國愛發(fā)科低溫公司
愛發(fā)科低溫技術(shù)（寧波）有限公司
愛發(fā)科銷售有限公司
愛發(fā)科科技有限公司
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