鈮酸鋰/鉭酸鋰晶棒腐蝕機(jī)

1、設(shè)備概況

               2 設(shè)備名稱：鈮酸鋰/鉭酸鋰晶棒腐蝕機(jī)

2 設(shè)備型號：RHXX-F200

2 產(chǎn)品規(guī)格：D=100~200mm H=50-100mm

2 處理能力：MAX8寸晶棒

整機(jī)尺寸：約1800mm(L) ×1200mm(W) ×2400mm(H)

2、構(gòu)造特點(diǎn)

      設(shè)備結(jié)構(gòu)外型，整機(jī)主要由機(jī)架、工藝槽體、機(jī)械手系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。

由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強(qiáng)，設(shè)備需要做防腐處理：（1）設(shè)備機(jī)架采用鋼結(jié)構(gòu)骨架包塑；（2）殼體采用瓷白色PP板材焊接成型，制程區(qū)由耐酸堿PP板材組合焊接而成：（3）電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)隔離；（4）槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料；（5）機(jī)械手探人濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理或?yàn)殍F氟龍加工件。

3、安全保護(hù)

2 設(shè)備探入濕區(qū)導(dǎo)線采用耐腐蝕導(dǎo)線并采用氟套管進(jìn)行保護(hù)，防腐防水

2 設(shè)有防漏電斷路保護(hù)裝置

2 電控部分正壓空體保護(hù)，防水防腐

2 配有漏電流斷路保護(hù)裝置以及過溫過載保護(hù)裝置

2 設(shè)備有可靠的接地裝置及緊急關(guān)機(jī)和報(bào)警系統(tǒng)

2 EMO緊急開關(guān)位于機(jī)臺上方明顯處

2 蜂鳴器聲鳴提示工作完成，三色報(bào)警燈及蜂鳴聲光故障報(bào)警

2 機(jī)臺底部設(shè)有防漏盤及漏液感知

2 液位異常感知/安全液位保護(hù)

2 配有加熱保護(hù)，防干燒

4、供/排液裝置

l 控制部分與泵等獨(dú)立于酸洗機(jī)單獨(dú)的柜體內(nèi)，并配備有獨(dú)立抽風(fēng)系統(tǒng)。

l 輸送介質(zhì)：酸

l 酸桶：每種介質(zhì)20L桶（2個(gè)）

l 操作形式：PLC自動(dòng)控制；并配空桶報(bào)警（供液）和滿桶報(bào)警（排液用）；

l 氣動(dòng)隔膜泵：每種酸配1臺泵；排液也是1臺泵

l 噪聲：≤70dB

l 設(shè)備尺寸：1000mm（L）×1000mm(W)×1500mm(H)（以實(shí)際設(shè)計(jì)為準(zhǔn)）

5、售后服務(wù)

2 本設(shè)備質(zhì)保期12個(gè)月；

2 在質(zhì)保期間，供方免費(fèi)提供設(shè)備維護(hù)，軟件升級；

2 售后服務(wù)響應(yīng)時(shí)間：接到通告后2小時(shí)內(nèi)提供電話解決方案。如需要，技術(shù)工程師24小時(shí)內(nèi)到達(dá)設(shè)備工作現(xiàn)場；

2 質(zhì)保期后供方優(yōu)先優(yōu)價(jià)向用戶提供所需的備品備件；

2 供方對以上設(shè)備提供終身售后服務(wù)和技術(shù)支持。