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PlasmaPro 100 Nano 等離子增強化學氣相沉積

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
  • 品牌 OXFORD/英國牛津
  • 型號 PlasmaPro 100 Nano
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2025/6/5 17:20:43
  • 訪問次數(shù) 313
產(chǎn)品標簽

薄膜生長

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

  • 更佳的均勻性以及靈活的溫度范圍， 最高可達1200°C

  • 700°C、800°C或1200°C工作臺可供選擇

  • 樣品尺寸可達200mm

  • 真空傳送腔——快速更換樣品

  • 冷壁設(shè)計并輔以可均勻輸送氣體/液體源前驅(qū)體的噴頭

  • 可選的液體/固體源前驅(qū)體輸送系統(tǒng)，用于生長MOS2、MOSe2和其它TMDCs材料

應(yīng)用：

  • 二維材料 生長

  • MoS2 生長

  • 石墨烯 生長

  • 一維材料 生長

  • 碳納米管（CNT）生長

  • 氣柜 —— 包含額外的氣體管線，提供更大的靈活性

  • 渦輪分子真空泵 —— 提供泵送速度加快氣體的流動速度

  • 光學終點探測—— 實現(xiàn)更好工藝結(jié)果的重要工具

  • TEOS液位傳感 —— 使用安裝在TEOS罐上的超聲波液位傳感器實現(xiàn)液位傳感






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