AIX G5 WW C 化合物半導體沉積系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 愛思強
- 型號 AIX G5 WW C
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/6/5 19:08:47
- 訪問次數(shù) 437
產(chǎn)品標簽
聯(lián)系方式：謝澤雨19842703026 查看聯(lián)系方式
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主要優(yōu)點
吞吐量和每片晶圓擁有成本
批量配置中的單片性能，可實現(xiàn)出色的外延層質(zhì)量
兼容硅晶圓廠的自動化技術支持碳化硅電源市場加速增長
產(chǎn)品特點
帶熱晶圓轉(zhuǎn)移的行星式反應器
在生長室中高效利用氣體
晶圓級溫度控制
晶圓盒到晶圓盒處理
快速外延處理
8x150 mm 配置，單晶圓旋轉(zhuǎn)
AutoSat功能，確保批次內(nèi)的均勻性
SECS-GEM工廠接
主要優(yōu)點
吞吐量和每片晶圓擁有成本
批量配置中的單片性能，可實現(xiàn)出色的外延層質(zhì)量
兼容硅晶圓廠的自動化技術支持碳化硅電源市場加速增長
產(chǎn)品特點
帶熱晶圓轉(zhuǎn)移的行星式反應器
在生長室中高效利用氣體
晶圓級溫度控制
晶圓盒到晶圓盒處理
快速外延處理
8x150 mm 配置，單晶圓旋轉(zhuǎn)
AutoSat功能，確保批次內(nèi)的均勻性
SECS-GEM工廠接口
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