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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>鍍膜機(jī)> 單靶直流磁控濺射鍍膜儀

單靶直流磁控濺射鍍膜儀

參考價(jià) 50000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/12/20 13:20:36
  • 訪問(wèn)次數(shù) 58

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市*開(kāi)發(fā)區(qū),是一家專(zhuān)業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售為一體的高科技公司。重點(diǎn)專(zhuān)注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專(zhuān)業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測(cè)試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

近年來(lái),在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國(guó)內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請(qǐng)了多位國(guó)內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問(wèn),他們時(shí)刻與國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國(guó)訪問(wèn),并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷(xiāo)歐美、日韓等國(guó)家,并在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)獲得業(yè)界*好評(píng)。

如果您正在被國(guó)貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對(duì)國(guó)貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專(zhuān)業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無(wú)人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問(wèn)題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠(chéng)信、實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。


管式爐,氣氛爐,馬弗爐,等離子磁控濺鍍膜儀,等離子清洗機(jī),切斷機(jī),拋光機(jī)

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 1-5萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬

簡(jiǎn)單介紹:

該設(shè)備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。

詳情介紹:

單靶直流磁控濺射鍍膜儀經(jīng)過(guò)緊湊化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了體積與性能的平衡,造型美觀功能齊全。整機(jī)均采用觸控屏控制,內(nèi)置一鍵式鍍膜程序,操作簡(jiǎn)單易上手,是一款實(shí)驗(yàn)室制備薄膜的理想設(shè)備。

單靶為一支強(qiáng)磁靶,所配電源為 1臺(tái)1500W 直流電源,直流電源可用于金屬薄膜的制備。

鍍膜儀配有一路高精度質(zhì)量流量計(jì),客戶若另有需求可以定制至多四路質(zhì)量流量計(jì)的氣路,以滿足復(fù)雜的氣體環(huán)境構(gòu)建需求;儀器標(biāo)配渦輪分子泵組,極限真空可達(dá) 1.0E-5Pa,同時(shí)另有其他類(lèi)型的分子泵可供選購(gòu)。分子泵的氣路由多個(gè)電磁閥控制,可以實(shí)現(xiàn)在不關(guān)泵的情況下打開(kāi)腔體取出樣品,大大提高了您的工作效率。本產(chǎn)品可以選配一體機(jī)工控電腦對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行控制,在電腦程序上可以實(shí)現(xiàn)真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數(shù)功能,可以進(jìn)一步提高您的實(shí)驗(yàn)效率。

應(yīng)用范圍:

該設(shè)備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。

單靶直流磁控濺射鍍膜儀

規(guī)格參數(shù):


單靶直流磁控濺射鍍膜儀

樣品臺(tái)

外形尺寸

Φ360mm

可調(diào)轉(zhuǎn)速

1-20rpm可調(diào)

磁控靶槍

靶材平面

圓形平面靶

濺射真空

0.1Pa~3Pa

靶材直徑

100~101.6mm

靶材厚度

3mm

絕緣電壓

>2000V

電纜規(guī)格

SL-16

靶頭溫度

≦65℃

真空腔體

內(nèi)壁處理

電解拋光

腔體尺寸

Φ500mm × 500mm

腔體材料

304不銹鋼

觀察窗口

石英窗口,直徑φ100mm

開(kāi)啟方式

側(cè)面開(kāi)啟

氣體控制

流量控制

質(zhì)量流量計(jì),量程0~100SCCM

氣體種類(lèi)

可選氬氣、氮?dú)?、氧氣等多種氣體

調(diào)節(jié)閥類(lèi)型

電磁調(diào)節(jié)閥

調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)

常閉

測(cè)量線性度

±1.5%F.S

測(cè)量重復(fù)精度

±0.2%F.S

測(cè)量響應(yīng)時(shí)間

≤8秒(T95)

工作壓差范圍

0.3MPa

閥體耐壓

3MPa

工作環(huán)境溫度

(5~45)℃

閥體材料

不銹鋼316L

閥體漏率

1×10-8Pa.m3/s

管道接頭

1/4″卡套接頭

輸入輸出信號(hào)

0~5V

供電電源

±15V(±5%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

外形尺寸mm

130(寬)×102(高)×28(厚)

通訊接口

RS485 MODBUS協(xié)議

直流電源

電源功率

1500W

膜厚測(cè)量

電源要求

DC:5V(±10%) *大電流 400mA

分辨率

±0.03Hz(5-6MHz),0.0136? /測(cè)量(鋁)

測(cè)量精度

±0.5%厚度+1計(jì)數(shù)

測(cè)量周期

100mS~1S/次(可設(shè)置)

測(cè)量范圍

500,000 ? (鋁)

晶體頻率

6MHz

通訊接口

 RS-232/485串行接口

顯示位數(shù)

8位LED顯示

分子泵

分子泵抽速

1200L/S

額定轉(zhuǎn)速

24000rpm

振動(dòng)值

≦0.1um

啟動(dòng)時(shí)間

5min

停機(jī)時(shí)間

7min

冷卻方式

水冷+風(fēng)冷

冷卻水溫度

≦37℃

冷卻水流速

1L/min

安裝方向

垂直±5°

抽氣接口

150CF

排氣接口

KF40

前級(jí)泵

抽氣速率

VRD-16

極限真空

1Pa

供電電源

AC:220V/50Hz

電機(jī)功率

400W

噪音

≦56db

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF25

閥門(mén)

閘板閥

真空腔體與分子泵間裝有閘板閥

切斷閥

分子泵與前級(jí)之間裝有切斷閥

旁抽閥

真空腔體與前級(jí)之間裝有旁抽閥

放氣閥

真空腔體上裝有電磁放氣閥

整機(jī)極限真空

≦5×10-4Pa

測(cè)試靶材

直徑4英寸厚度3mm的鎳靶材1塊





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