單靶直流磁控濺射鍍膜儀
參考價(jià) | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱(chēng) 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/20 13:20:36
- 訪問(wèn)次數(shù) 58
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 1-5萬(wàn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
簡(jiǎn)單介紹:
該設(shè)備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。
詳情介紹:
單靶直流磁控濺射鍍膜儀經(jīng)過(guò)緊湊化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了體積與性能的平衡,造型美觀功能齊全。整機(jī)均采用觸控屏控制,內(nèi)置一鍵式鍍膜程序,操作簡(jiǎn)單易上手,是一款實(shí)驗(yàn)室制備薄膜的理想設(shè)備。
單靶為一支強(qiáng)磁靶,所配電源為 1臺(tái)1500W 直流電源,直流電源可用于金屬薄膜的制備。
鍍膜儀配有一路高精度質(zhì)量流量計(jì),客戶若另有需求可以定制至多四路質(zhì)量流量計(jì)的氣路,以滿足復(fù)雜的氣體環(huán)境構(gòu)建需求;儀器標(biāo)配渦輪分子泵組,極限真空可達(dá) 1.0E-5Pa,同時(shí)另有其他類(lèi)型的分子泵可供選購(gòu)。分子泵的氣路由多個(gè)電磁閥控制,可以實(shí)現(xiàn)在不關(guān)泵的情況下打開(kāi)腔體取出樣品,大大提高了您的工作效率。本產(chǎn)品可以選配一體機(jī)工控電腦對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行控制,在電腦程序上可以實(shí)現(xiàn)真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數(shù)功能,可以進(jìn)一步提高您的實(shí)驗(yàn)效率。
應(yīng)用范圍:
該設(shè)備可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。
規(guī)格參數(shù):
單靶直流磁控濺射鍍膜儀 | ||
樣品臺(tái) | 外形尺寸 | Φ360mm |
可調(diào)轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm可調(diào) | |
磁控靶槍 | 靶材平面 | 圓形平面靶 |
濺射真空 | 0.1Pa~3Pa | |
靶材直徑 | 100~101.6mm | |
靶材厚度 | 3mm | |
絕緣電壓 | >2000V | |
電纜規(guī)格 | SL-16 | |
靶頭溫度 | ≦65℃ | |
真空腔體 | 內(nèi)壁處理 | 電解拋光 |
腔體尺寸 | Φ500mm × 500mm | |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
觀察窗口 | 石英窗口,直徑φ100mm | |
開(kāi)啟方式 | 側(cè)面開(kāi)啟 | |
氣體控制 | 流量控制 | 質(zhì)量流量計(jì),量程0~100SCCM |
氣體種類(lèi) | 可選氬氣、氮?dú)?、氧氣等多種氣體 | |
調(diào)節(jié)閥類(lèi)型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 | |
調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 | |
測(cè)量線性度 | ±1.5%F.S | |
測(cè)量重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | |
測(cè)量響應(yīng)時(shí)間 | ≤8秒(T95) | |
工作壓差范圍 | 0.3MPa | |
閥體耐壓 | 3MPa | |
工作環(huán)境溫度 | (5~45)℃ | |
閥體材料 | 不銹鋼316L | |
閥體漏率 | 1×10-8Pa.m3/s | |
管道接頭 | 1/4″卡套接頭 | |
輸入輸出信號(hào) | 0~5V | |
供電電源 | ±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) | |
外形尺寸mm | 130(寬)×102(高)×28(厚) | |
通訊接口 | RS485 MODBUS協(xié)議 | |
直流電源 | 電源功率 | 1500W |
膜厚測(cè)量 | 電源要求 | DC:5V(±10%) *大電流 400mA |
分辨率 | ±0.03Hz(5-6MHz),0.0136? /測(cè)量(鋁) | |
測(cè)量精度 | ±0.5%厚度+1計(jì)數(shù) | |
測(cè)量周期 | 100mS~1S/次(可設(shè)置) | |
測(cè)量范圍 | 500,000 ? (鋁) | |
晶體頻率 | 6MHz | |
通訊接口 | RS-232/485串行接口 | |
顯示位數(shù) | 8位LED顯示 | |
分子泵 | 分子泵抽速 | 1200L/S |
額定轉(zhuǎn)速 | 24000rpm | |
振動(dòng)值 | ≦0.1um | |
啟動(dòng)時(shí)間 | 5min | |
停機(jī)時(shí)間 | 7min | |
冷卻方式 | 水冷+風(fēng)冷 | |
冷卻水溫度 | ≦37℃ | |
冷卻水流速 | 1L/min | |
安裝方向 | 垂直±5° | |
抽氣接口 | 150CF | |
排氣接口 | KF40 | |
前級(jí)泵 | 抽氣速率 | VRD-16 |
極限真空 | 1Pa | |
供電電源 | AC:220V/50Hz | |
電機(jī)功率 | 400W | |
噪音 | ≦56db | |
抽氣接口 | KF40 | |
排氣接口 | KF25 | |
閥門(mén) | 閘板閥 | 真空腔體與分子泵間裝有閘板閥 |
切斷閥 | 分子泵與前級(jí)之間裝有切斷閥 | |
旁抽閥 | 真空腔體與前級(jí)之間裝有旁抽閥 | |
放氣閥 | 真空腔體上裝有電磁放氣閥 | |
整機(jī)極限真空 | ≦5×10-4Pa | |
測(cè)試靶材 | 直徑4英寸厚度3mm的鎳靶材1塊 |