CDS化學(xué)供液系統(tǒng)（Center Chemical Dispense System）是一種用于生產(chǎn)線(xiàn)24小時(shí)不間斷供應(yīng)化學(xué)液的系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、太陽(yáng)能光伏等行業(yè)的濕法設(shè)備化學(xué)液自動(dòng)供給。以下是對(duì)該系統(tǒng)的介紹：

一、核心功能與應(yīng)用場(chǎng)景

功能定位：通過(guò)自動(dòng)化控制實(shí)現(xiàn)化學(xué)液的自動(dòng)加液、補(bǔ)液、配液及輸送，確保生產(chǎn)過(guò)程中化學(xué)液的精準(zhǔn)供應(yīng)。

典型應(yīng)用：為光刻顯影、晶圓清洗、濕法刻蝕、薄膜制備、化學(xué)機(jī)械拋光等工藝提供腐蝕性或高純度化學(xué)液支持，覆蓋半導(dǎo)體制造、電子元件生產(chǎn)、實(shí)驗(yàn)室科研等領(lǐng)域。

二、系統(tǒng)組成與關(guān)鍵組件

供液柜：采用耐酸堿腐蝕材料（如PP、PVDF、PFA）制成全封閉結(jié)構(gòu)，配備抽風(fēng)系統(tǒng)、泄漏偵測(cè)器及防爆設(shè)計(jì)，確保安全操作。

輸送系統(tǒng)：包括耐腐蝕計(jì)量泵（如氣動(dòng)隔膜泵）、PFA材質(zhì)過(guò)濾器、除泡器及雙套管管道，防止氣泡和微粒污染，保障輸送精度。

控制系統(tǒng)：由PLC程序控制，支持自動(dòng)/手動(dòng)模式切換，接收設(shè)備信號(hào)后自動(dòng)啟停泵閥，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守供液。

三、技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

安全性：雙套管設(shè)計(jì)可檢測(cè)內(nèi)管泄漏，防爆照明和氣體偵測(cè)器應(yīng)對(duì)易燃溶劑，泄漏偵測(cè)器實(shí)時(shí)報(bào)警。

精準(zhǔn)性：計(jì)量泵和過(guò)濾系統(tǒng)確保配比精確，滿(mǎn)足溫度、濃度、流速等工藝要求。

連續(xù)性：通過(guò)備用供液桶和自動(dòng)切換機(jī)制，實(shí)現(xiàn)24小時(shí)不間斷供液，避免生產(chǎn)中斷。

CDS化學(xué)供液系統(tǒng)通過(guò)高度自動(dòng)化的設(shè)計(jì)，解決了高危險(xiǎn)性化學(xué)液的安全輸送與精準(zhǔn)配比問(wèn)題，是現(xiàn)代工業(yè)濕法工藝的核心基礎(chǔ)設(shè)施。其技術(shù)迭代方向包括更智能的物聯(lián)網(wǎng)監(jiān)控、更耐腐蝕的材料應(yīng)用以及更高水平的環(huán)保兼容性。