MPTD 半導(dǎo)體高低溫一體機 -110℃~300℃寬溫域
參考價 | ¥ 99999 |
訂貨量 | ≥1臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 邁浦特機械(四川)有限公司
- 品牌 邁浦特
- 型號 MPTD
- 產(chǎn)地 江蘇蘇州市昆山市東岳路508號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/2 14:24:14
- 訪問次數(shù) 39
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 工作方式 | 蒸汽壓縮式制冷(通過逆卡諾原理) |
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恒溫波動度 | ±0.1℃ | 恒溫范圍 | ±0.1℃ |
價格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 |
水箱容積 | 18~500L | 循環(huán)泵流量 | 20~300LL/min |
循環(huán)泵壓力 | 40bar | 儀器種類 | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,電子/電池,制藥/生物制藥 | 制冷量 | 2000~90000W |
控制方式 | PLC | 通訊協(xié)議 | RS485 |
防爆等級 | BT4、CT4/CT6 |
邁浦特機械咨詢——陳:①⑧①⑧①⑨⑨⑧④⑦0
邁浦特機械高低溫一體機其工作原理分為三級循環(huán):一級預(yù)冷由雙渦旋壓縮機將R404A冷媒壓縮至中溫,通過板式換熱器預(yù)冷R23工質(zhì);二級深冷由活塞式壓縮機將R23壓縮至高壓態(tài),經(jīng)水冷冷凝器液化后節(jié)流蒸發(fā),在鈦合金板換中吸收導(dǎo)熱油熱量;高溫控制則采用鎧裝硅碳棒加熱器,直接加熱高溫導(dǎo)熱油(聯(lián)苯-二苯醚混合物),PID系統(tǒng)實時調(diào)節(jié)冷熱回路比例閥開度。設(shè)備創(chuàng)新性采用雙閉環(huán)控制:內(nèi)環(huán)控制導(dǎo)熱油出口溫度,外環(huán)通過PT1000傳感器監(jiān)測晶圓反應(yīng)腔實際溫度,溫差補償算法消除熱延遲效應(yīng)。全密封管路系統(tǒng)經(jīng)氦質(zhì)譜檢漏,確保無油霧污染,適配ISO 14644-1 Class 5潔凈車間