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Series 3000 LV 800/1000 派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備
- 公司名稱(chēng) 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) Series 3000 LV 800/1000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/1 15:32:38
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 113
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ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機(jī)，PA-MOCVD，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）
派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 800/1000系統(tǒng)為派瑞淋涂覆系統(tǒng)，通過(guò)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤(rùn)滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。
Parylene System Series 3000 LV 800/1000是一款模塊化設(shè)計(jì)的系統(tǒng)，主要由兩部分組成：腔室模塊與蒸發(fā)器模塊。我們眾多設(shè)備均采用此類(lèi)模塊化設(shè)計(jì)，旨在確保系統(tǒng)的靈活性，從而能夠根據(jù)客戶(hù)需求對(duì)幾乎任何組件進(jìn)行定制化調(diào)整。其中，“3000”代表產(chǎn)品系列，而“LV 800/1000”則用于標(biāo)識(shí)機(jī)器腔室的尺寸規(guī)格。該尺寸設(shè)計(jì)主要取決于您單次運(yùn)行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求。 我們所提供的腔室最大容積可達(dá) 1000 升。此外，該系統(tǒng)標(biāo)配等離子源，并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)、加熱/冷卻臺(tái)以及多達(dá) 3 個(gè)質(zhì)量流量控制器，以滿(mǎn)足不同氣體入口的需求。
派瑞林parylene真空鍍膜設(shè)備Series 3000 LV 800/1000
| 尺寸 | L:2600mm W:960mm H:1460mm |
| 重量 | 450kg |
| 腔體容量 | 800/1000 L |
| 工藝腔體 | 1150mm ? H：600mm (800 L) 1000mm ? H：1100mm（1000L） |
| 等離子源 | 2.45GHz, 1200 W |
| 氣路 | 1 路氣體通道（內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)），最多可擴(kuò)展至 3 路氣體通道。 |
| 冷卻系統(tǒng) | 8L（機(jī)電式冷阱） |
| 真空連接 | DIN 63 ISO-KF |
| 排氣 | 電磁式排氣閥 |
| 真空泵 | 抽速75m3/h |
| 電氣連接 | 三相五線(xiàn)制，交流 50 Hz，電壓 400 V / 240 V，最大功率消耗 8.5 kW |
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)型機(jī)型，也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機(jī)型。同時(shí)，我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源，實(shí)現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M(jìn)行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，在小占地面積下提供高性能技術(shù)，節(jié)約大量的超凈間占地空間。
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