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Series 2000 旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備
- 公司名稱(chēng) 那諾中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) Series 2000
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2025/7/1 16:41:50
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ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機(jī)，PA-MOCVD，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）
旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備，采用旋轉(zhuǎn)滾筒設(shè)計(jì)，專(zhuān)用于實(shí)現(xiàn)聚對(duì)二甲苯的均勻涂布。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，集成內(nèi)置泵與冷卻裝置，適用于處理尺寸較小的基材。
Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè)，包括航天航空、半導(dǎo)體、新能源、軍工、汽車(chē)、手機(jī)、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過(guò)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤(rùn)滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。
PPS 提供多樣化的定制化實(shí)驗(yàn)室涂布設(shè)備，配備多種可選裝置與附加組件，旨在確保涂層工藝的成功實(shí)施、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置：
- 可定制腔體尺寸
- 支持選配等離子體源
- 配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)
旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備Series 2000
| 尺寸 | L:2600mm W:960mm H:1460mm |
| 重量 | 200kg |
| 腔體容量 | 80L |
| 工藝腔體 | 400mm ? ，H: 600mm |
| 氣路 | 1 路氣體通道（內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)），最多可擴(kuò)展至 3 路氣體通道。 |
| 冷卻系統(tǒng) | 4L（機(jī)電式冷阱） |
| 真空連接 | DIN 40 ISO-KF |
| 排氣 | 電磁式排氣閥 |
| 真空泵 | 抽速50m3/h |
| 電氣連接 | 三相五線(xiàn)制，交流 50 Hz，電壓 400 V / 240 V，最大功率消耗 8.5 kW |
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)型機(jī)型，也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機(jī)型。同時(shí)，我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源，實(shí)現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M(jìn)行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，在小占地面積下提供高性能技術(shù)，節(jié)約大量的超凈間占地空間。
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