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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

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上海茂碩機械設(shè)備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個市場有一批受眾用戶,因業(yè)務(wù)發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購進貨,您可以避免國內(nèi)合作商、辦事處和經(jīng)銷商的分級合作商,層層盤剝的模式,享受到價格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購服務(wù)。

對于一些德國產(chǎn)品,我們通過集中批量采購以獲取廠商較大折扣,可以提供比國內(nèi)市場價格更低的報價。

能夠提供不同國別、廠商的設(shè)備配件,解決您多處尋找的麻煩和對產(chǎn)品質(zhì)量的擔(dān)心等,在價格上我們有很大的優(yōu)勢,公司備有大量的現(xiàn)貨,是國內(nèi)庫存量Z多的公司之一,以更專業(yè)的服務(wù),把咨詢,銷售,售后服務(wù)一整套體系做的更完善,讓客戶能夠更放心的購買我們的產(chǎn)品,對我們的服務(wù)有更滿意的評價!

我們客戶遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢品牌主要有:

德國寶德BURKERT,德國BOSCH-REXROTH博世力士樂,德國FESTO費斯托,

德國STEIMEL施*泵,德國HIRSCHMAN赫斯曼,德國HYDAC賀德克,

德國IFM易福門,德國TURCK圖爾克,德國MURR穆爾,德國HAWE哈威,

美國紐曼帝克,美國AB,美國FAIRCHILD仙童,美國DENISON丹尼遜,

德國P F倍加福,德國BALLUFF巴魯夫,德國SICK施克,德國E H,

意大利UNIVER氣動,意大利ATOS阿托斯,美國VICKERS威格士,

德國GSR閥,法國CROUZET高諾斯,德國PILZ皮爾茲繼電器,

德國SCHMERSAL施邁賽,德國SIEMENS西門子,美國ROSS閥,

美國MAC電磁閥,美國PARKER派克,美國MOOG穆格伺服閥,

美國派克電磁閥,美國威格士電磁閥,美國ASCO阿斯卡,

德國STAUFF西德福,德國NEGELE耐格,德國EMG伺服閥,

德國MAHLE馬勒,德國海隆HERION,英國諾冠NORGREN,

美國UE壓力開關(guān),美國MTS位移傳感器,

以及法國高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

公司具有豐富的氣動工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗,多年來與世界各國的較有名廠商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢,以靈活的經(jīng)營方式,多渠道,*地為客戶提供先進的自動化產(chǎn)品。

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

1. 產(chǎn)品概述

  • 型號:61334-KEAE-0001

  • 類型:高真空蝶形控制閥(氣動驅(qū)動,金屬密封)

  • 品牌:VAT Group(瑞士 真空閥門制造商)

  • 適用領(lǐng)域:半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、科研設(shè)備等


2. 核心參數(shù)

參數(shù)規(guī)格
真空范圍10?? mbar 至 大氣壓(超高真空兼容)
漏率<1×10?? mbar·l/s(金屬密封)
閥體材質(zhì)316L不銹鋼(電解拋光,Ra ≤ 0.8 μm)
密封材質(zhì)全金屬密封(金包覆不銹鋼,耐高溫烘烤)
驅(qū)動方式氣動執(zhí)行(單/雙作用可選)
響應(yīng)時間<100 ms(全開至全關(guān))
溫度范圍-20°C 至 +150°C(標準),可選高溫版(+250°C)
法蘭標準ISO-KF、CF 或定制(SEMI標準兼容)
控制信號可選4-20mA / 0-10V 反饋,或數(shù)字通信(RS485)

3. 產(chǎn)品特點

超高真空性能

  • 適用于XHV(10?? mbar)環(huán)境,滿足半導(dǎo)體ALD、離子注入等嚴苛工藝需求。

耐腐蝕設(shè)計

  • 金屬密封(可選PTFE增強涂層),兼容Cl?、HBr、WF?等腐蝕性氣體。

快速響應(yīng)

  • <100 ms開關(guān)速度,適用于動態(tài)氣體控制(如CVD脈沖沉積)。

長壽命

  • 機械壽命 >10?次循環(huán),維護周期長,降低設(shè)備停機時間。


4. 典型應(yīng)用

行業(yè)設(shè)備/工藝作用
半導(dǎo)體刻蝕(Etch)、ALD/CVD高真空隔離,氣體流量精準控制
光伏PECVD、濺射鍍膜快速抽真空,維持腔室壓力穩(wěn)定
科研同步輻射、電子顯微鏡超高真空環(huán)境下的氣流調(diào)節(jié)

5. 安裝與維護

安裝要點

  • 法蘭對接:使用無應(yīng)力安裝工具,避免閥體變形(扭矩≤10 Nm)。

  • 氣路連接:確保氣源潔凈(推薦0.1 μm過濾器)。

維護建議

  • 常規(guī)檢查:每3個月檢查密封面磨損情況。

  • 深度維護:每2年或50萬次循環(huán)后更換密封組件(原廠維修包可選)。

常見問題(FAQ)

Q1:能否替代61332-KEAF-0001?
→ 可以,但需確認密封材質(zhì)是否匹配(KEAF為金屬密封,其他型號可能不同)。

Q2:是否支持EUV光刻機應(yīng)用?
→ 支持,但需選配超潔凈版本(低顆粒釋放,需特殊訂貨)。

Q3:最小起訂量(MOQ)?
→ 原廠1臺起訂

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

商品編號61336-PAAE-0001

商品編號61336-PEGF-0001

商品編號61338-PAGX-0001

商品編號61336-PECX-0001

商品編號661334-KACX-000

商品編號61340-PEGF-0001

商品編號61340-PEGQ-0001

商品編號61338-PEAK-0001

商品編號61344-PEAE-0001

商品編號61328-KEAX-0001

商品編號61332-KEAX-0001

商品編號61328-KEGF-0001

商品編號61348-PECK-0001

商品編號61346-PEGX-0001

商品編號61344-PACX-0001



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