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　　鈀擴散氫氣純化器，在理工大學利用50%以上的原料氫，通過BG-5型鈀擴散超高氫純化儀提純到99.9999%以上的氫氣，在微波爐內加上適當的溫度以不同的比例與甲烷混合，在原有的硅片上植被金剛石粉或鉆石粉進行結晶，得到成功的應用。

     鈀擴散超純氫氣純化器純化的超純氫氣廣泛應用于材料學、氫氣的提純、氚氣的提純、電子、半導體、LED、多晶硅、氣相色譜儀、電子管等戰(zhàn)略性新興產業(yè)。該產品應用示范裝置的成功開車，標志著我國具有自主知識產權的超純氫氣純化技術，可以為上述戰(zhàn)略性新興產業(yè)提供廉價的超純氫氣原料。