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X熒光光譜儀是一種射線式分析儀器,是X射線分析儀器的一種常用形式。X射線熒光光譜儀能分析原子序數(shù) 12～92的所有元素，選擇性高，分析微量組分時(shí)受基體的影響小，在地質(zhì)、采礦和冶金等部門應(yīng)用很廣。
X熒光光譜儀的原理：元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，根據(jù)莫斯萊定律，熒光X射線的波長與元素的原子序數(shù)有關(guān)。
根據(jù)量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個(gè)光具有的能量。因此,只要測(cè)出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析。
X熒光光譜儀的優(yōu)點(diǎn)：
1、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析
2、分析精密度高。目前含量測(cè)定已經(jīng)達(dá)到ppm級(jí)別
3、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析
4、非破壞分析。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
5、X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。
6、分析速度快。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，10～300秒就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。
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