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臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為光電式、電感式和壓電式三種。今天就給大家介紹下臺(tái)階儀的產(chǎn)品特點(diǎn)。
光電式臺(tái)階儀是利用光電元件接收透過(guò)狹縫的光通量變化來(lái)檢測(cè)位移量的變化;電感式采用電感位移傳感器作為敏感元件，性價(jià)比高，測(cè)量精度高、但處理電路稍復(fù)雜;壓電式的位移敏感元件為壓電晶體，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，靈敏度高，但傳感器低頻響應(yīng)不好、且容易漏電造成測(cè)量誤差。
臺(tái)階儀產(chǎn)品特點(diǎn)為：量程大，測(cè)量精度較高，重復(fù)性好，測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠，還可以作為其它形貌測(cè)量技術(shù)的比對(duì);另外，測(cè)頭的硬度一般都很高，為使測(cè)頭不至很快磨損，不要用于軟質(zhì)表面和精密零件的測(cè)量;測(cè)件和測(cè)頭接觸時(shí)會(huì)造成測(cè)頭磨損和變形，使用一段時(shí)間后測(cè)量精度下降;測(cè)頭為了保證剛性和耐磨性而不能做得非常細(xì)小和尖銳，否則會(huì)造成測(cè)量數(shù)據(jù)的偏差。該儀器是集合了共焦光學(xué)形貌儀，WLI白光干涉形貌儀，原子力顯微鏡，接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測(cè)。
光電式臺(tái)階儀是利用光電元件接收透過(guò)狹縫的光通量變化來(lái)檢測(cè)位移量的變化;電感式采用電感位移傳感器作為敏感元件，性價(jià)比高，測(cè)量精度高、但處理電路稍復(fù)雜;壓電式的位移敏感元件為壓電晶體，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，靈敏度高，但傳感器低頻響應(yīng)不好、且容易漏電造成測(cè)量誤差。
臺(tái)階儀產(chǎn)品特點(diǎn)為：量程大，測(cè)量精度較高，重復(fù)性好，測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定可靠，還可以作為其它形貌測(cè)量技術(shù)的比對(duì);另外，測(cè)頭的硬度一般都很高，為使測(cè)頭不至很快磨損，不要用于軟質(zhì)表面和精密零件的測(cè)量;測(cè)件和測(cè)頭接觸時(shí)會(huì)造成測(cè)頭磨損和變形，使用一段時(shí)間后測(cè)量精度下降;測(cè)頭為了保證剛性和耐磨性而不能做得非常細(xì)小和尖銳，否則會(huì)造成測(cè)量數(shù)據(jù)的偏差。該儀器是集合了共焦光學(xué)形貌儀，WLI白光干涉形貌儀，原子力顯微鏡，接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測(cè)。
相關(guān)產(chǎn)品
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