氣敏傳感器是一種基于聲表面波器件波速和頻率隨外界環(huán)境的變化而發(fā)生漂移的原理制作而成的一種新型的傳感器。
工作原理:聲表面波器件之波速和頻率會隨外界環(huán)境的變化而發(fā)生漂移。氣敏傳感器就是利用這種性能在壓電晶體表面涂覆一層選擇性吸附某氣體的氣敏薄膜,當該氣敏薄膜與待測氣體相互作用(化學作用或生物作用,或者是物理吸附),使得氣敏薄膜的膜層質量和導電率發(fā)生變化時,引起壓電晶體的聲表面波頻率發(fā)生漂移;氣體濃度不同,膜層質量和導電率變化程度亦不同,即引起聲表面波頻率的變化也不同。通過測量聲表面波頻率的變化就可以準確的反應氣體濃度的變化。
氣敏傳感器是一種檢測特定氣體的傳感器。它主要包括半導體氣敏傳感器、接觸燃燒式氣敏傳感器和電化學氣敏傳感器等,其中用的多的是半導體氣敏傳感器。它的應用主要有:一氧化碳氣體的檢測、瓦斯氣體的檢測、煤氣的檢測、氟利昂(R11、R12)的檢測、呼氣中乙醇的檢測、人體口腔口臭的檢測等等。
它將氣體種類及其與濃度有關的信息轉換成電信號,根據這些電信號的強弱就可以獲得與待測氣體在環(huán)境中的存在情況有關的信息,從而可以進行檢測、監(jiān)控、報警;還可以通過接口電路與計算機組成自動檢測、控制和報警系統(tǒng)。
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