產(chǎn)品名稱:氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體流量計(jì) 微型流量傳感器 產(chǎn)品型號(hào):FS4000系列 |
產(chǎn)品概述:MF4000系列帶數(shù)顯;FS4000系列不帶數(shù)顯
FS4000是采用的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感器和電子控制,專為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量,低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控,還可用于環(huán)境采樣器(如色譜分析儀器等)
FS4003流量傳感器,管道內(nèi)徑為3mm,成本低測(cè)量范圍大到5SLPM;適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器,管道內(nèi)徑為8mm,測(cè)量范圍大到50SLPM;可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè),如:空氣采樣機(jī),氣體分析儀等
產(chǎn)品特點(diǎn):
-專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而
-支持多種連接方式,易于安裝與使用
-傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量
-在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
-輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
-零點(diǎn)穩(wěn)定度高
-全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
-低功耗、低壓損
-響應(yīng)速度快
機(jī)械尺寸:
產(chǎn)品特點(diǎn):
性能參數(shù)
FS4003
FS4008
單位
通徑
3
8
mm
大流量
2, 3, 4, 5
10, 20, 30, 40, 50
SLPM
量程比
≥100:1
精度
±(1.5+0.2FS)
%
重復(fù)性
0.25
%
零點(diǎn)輸出飄移
±30
mV
輸出飄移
±0.12
%/℃
響應(yīng)時(shí)間
10(默認(rèn),50,100,200,500,1000可設(shè)置)
msec
工作電源
8~18Vdc,50mA
輸出方式
線性,RS232/RS485,模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損
100
600
Pa
大工作壓力
0.5
MPa
工作溫度
-10 ~ + 55
℃
存儲(chǔ)溫度
-20 ~ + 65
℃
工作濕度
<95%RH(無結(jié)冰、無凝露)
機(jī)械接口
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭
校準(zhǔn)方式
空氣(或其他氣體),20℃,101.325kPa
重量
57(帶R1/4,BSPT1/4接口) 71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速接頭)
g
- MF4003-2-R-BV-A
- MF4003-5-R-BV-A
- MF4008-10-R-BV
- MF4008-50-R-BV
- FS4003-2-R-BV-A
- FS4003-5-R-BV-A
- FS4008-10-R-BV
- FS4008-50-R-CV
- FS4001-1000-CVA
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