一、真空系統(tǒng)的設(shè)計方案步驟

1、根據(jù)被抽容器對真空度的要求，選擇適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng)設(shè)計方案，進(jìn)行選、配泵計算；

2、確定導(dǎo)管、閥門、捕集器、真空測量元件等，進(jìn)行合理配置；

3、后畫出真空系統(tǒng)裝配圖和零部件圖。

二、真空系統(tǒng)的連接方式

真空系統(tǒng)，組裝質(zhì)量的高低直接決定了真空系統(tǒng)性能的優(yōu)劣。連接處密封不漏氣和具有足夠的機械強度是真空組裝技術(shù)的關(guān)鍵。

根據(jù)不同的工作要求，連接方法可分為不可拆卸連接、可拆卸連接和可動連接三類。當(dāng)連接的元件不需要經(jīng)常拆卸時，都采用這種連接。因為它可保證好的密封性和機械強度。

1、玻璃與玻璃的封接：玻璃與玻璃的連接常用煤氣火焰進(jìn)行熔化燒接而成。

得玻璃之間可靠的連接，必須使被封兩玻璃的膨脹系數(shù)相匹配。實驗指出，只有當(dāng)兩玻璃膨脹系數(shù)不超過7×10-7時，封接處所產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力才不致于引起玻璃炸裂。如果要使膨脹數(shù)相差較大的兩種玻璃焊在一起時，則應(yīng)采用過渡接頭。如要使鉬組玻璃與石英熔封時，則要用一系列膨脹系數(shù)漸降的玻璃過渡封接。玻璃與玻璃的封接被廣泛用于玻璃真空系統(tǒng)，以及真空規(guī)管的連接。

2、金屬與金屬的熔焊：將兩金屬的連接處局部加熱直至它們的邊緣熔化，這是由于互擴散及混合，邊界逐漸消失，固化后便可得到熔焊接頭，對不銹鋼材料的熔焊，目前廣泛使用氬弧焊，可以得到氣密性很好的焊縫。此外，電子束焊、等離子焊都是常采用的焊接方法。

3、金屬與金屬的釬焊：金屬釬焊與熔化焊不同，這種焊接是通過熔點低于被焊金屬的焊料將其連接起來。其方法是把被焊件和焊料放在一起加熱，加熱溫度僅需要稍高于焊料的熔點，焊料熔化后，潤濕填滿焊縫，固化后便得到釬焊接頭。這種釬焊方法不損傷被焊件，焊件的裝配尺寸精確。

4、金屬與玻璃的焊接：金屬與玻璃的封接是利用玻璃潤濕被封接金屬表面的氧化層而封接在一起的，金屬與玻璃的封接有匹配封接和不匹配封接兩種。匹配封接是指膨脹系數(shù)相近的玻璃和金屬之間的封接，如鎢與鎢組玻璃的封接，鉬、可伐與鉬組玻璃的封接，鉑、杜美絲和軟玻璃的封接。而不匹配封接是膨脹系數(shù)相差較大的玻璃和金屬之間的封接，如薄壁無氧銅管與硬玻璃的封接。

5、金屬與陶瓷的封接：金屬與陶瓷的常用封接方法有兩種，即活性金屬法和鉬錳活性屬法是給陶瓷封接面涂一層活性金屬（鈦），再將焊料夾在金屬與陶瓷封接面中，放入氫氣中加溫，直至焊料熔化，保溫一段時間，降溫后即可得到持久牢固的封接。