四探針電阻測試儀的技術(shù)指標

來源：寧波瑞柯微智能科技有限公司 2020年10月23日 08:38

四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備，用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）。

四探針測試儀由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。

四探針電阻測試儀的技術(shù)指標：

1.方塊電阻范圍：10-4～2×103Ω/□

2.電阻率范圍：10-5～2×104Ω-cm

3.測試電流范圍：10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.2%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導率

7.測試方式: 普通單電測量

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