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高純度氣體管道系統(tǒng)的質(zhì)量將直接影響高純度氣體的純度，清潔度和干燥度。因此，嚴(yán)格控制高純度氣體輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，材料選擇，加工制造，清潔處理以及安裝和使用中的每個(gè)環(huán)節(jié)都具有重要意義。下面我們就來(lái)介紹一下高純特氣閥門。
高純度氣體對(duì)系統(tǒng)中使用的閥門的密封性有非常嚴(yán)格的要求。目前，高純特氣閥門基本由SS304或SS316L不銹鋼制成。閥門類型包括隔膜閥，波紋管閥和球閥。波紋管閥的密封性好于球閥的密封性。氣體流經(jīng)閥門時(shí)，沒(méi)有與外部環(huán)境接觸的填料，因此沒(méi)有泄漏。除了隔膜閥的密封性外，它還具有很小的閥體死體積。它易于吹掃且污染少，因此適用于對(duì)氣體純度和生產(chǎn)工藝有較高要求或危險(xiǎn)的氣體。
1、高純氣體一般采用手工氬弧焊和自動(dòng)氬弧焊。焊接方式通常采用承插焊和對(duì)接焊。承插焊的優(yōu)點(diǎn)在于在焊接過(guò)程中管子居中，方便焊接，但有缺點(diǎn)，因?yàn)楣茏雍统胁迤髦g有間隙，所以會(huì)有“死角”，不容易吹走雜質(zhì)，這會(huì)影響高純度氣體的質(zhì)量。因此，對(duì)于極其嚴(yán)格的高純度氣體，應(yīng)使用對(duì)焊連接，并且需要內(nèi)表面。不得有焊縫，即在施工過(guò)程中不得使用不銹鋼焊絲，并且基材本身會(huì)熔化以填充焊縫。
2、為了確保輸送到燃?xì)庠O(shè)備，高純度燃?xì)夤艿篮腿細(xì)庠O(shè)備的氣體質(zhì)量，請(qǐng)使用不銹鋼金屬軟管連接，而不要使用非金屬軟管。
3、高純度燃?xì)夤艿篮透呒兲貧忾y門及其他附件應(yīng)通過(guò)不易泄漏的特殊接頭進(jìn)行連接。采用優(yōu)良的金屬墊，經(jīng)縱向壓力壓縮，泄漏率低，約10-9Acc/s，耐高壓，常用于高純氣體輸送系統(tǒng)，氣體雜質(zhì)含量為1.0×10-9，并且具有較低的耐壓。
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