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掃描電子顯微鏡電子槍發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點(diǎn)光源；點(diǎn)光源在加速電壓下形成高能電子束；高能電子束經(jīng)由兩個(gè)電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點(diǎn)，在透過最后一級(jí)帶有掃描線圈的電磁透鏡后，電子束以光柵狀掃描的方式逐點(diǎn)轟擊到樣品表面，同時(shí)激發(fā)出不同深度的電子信號(hào)。此時(shí)，電子信號(hào)會(huì)被樣品上方不同信號(hào)接收器的探頭接收，通過放大器同步傳送到電腦顯示屏，形成實(shí)時(shí)成像記錄 (圖a) 。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號(hào)有：俄歇電子 (Au E) 、二次電子 (SE) 、背散射電子 (BSE) 、X射線 (特征X射線、連續(xù)X射線) 、陰極熒光 (CL) 、吸收電子 (AE) 和透射電子。每種電子信號(hào)的用途因作用深度而異。
掃描電子顯微鏡可對(duì)材料的表面進(jìn)行高倍率觀察及高精度元素分析，在納米技術(shù)、生命科學(xué)、產(chǎn)品設(shè)計(jì)研發(fā)及失效分析等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 近年來，掃描電鏡觀察表面精細(xì)結(jié)構(gòu)及元素分析的需求日趨增加，而越來越多的用戶希望能在生產(chǎn)線、品保檢驗(yàn)線和辦公區(qū)等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此，體積小、操作簡便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關(guān)注。FlexSEM 1000主機(jī)寬450mm、長640mm，相比SU1510型號(hào)體積減小52%，重量減輕45%，功耗減小50%，且配備標(biāo)準(zhǔn)化的電源接口。主機(jī)與供電單元可分離，安裝非常靈活。
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