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勻膠機(jī)其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。
從其原理來說，可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)：
1、旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。
2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档?，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。
3、材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對(duì)于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。
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