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臺式掃描電鏡是針對臺式電鏡設計的，本著臺式電鏡簡單易用，系統(tǒng)*嵌入在電鏡主機中，利用半導體制冷，無需額外冷卻系統(tǒng)，采用低真空技術，出射電子與空氣分子碰撞產(chǎn)生正離子，正離子與樣品表面累積的 電子中和，有效抑制荷電效應的產(chǎn)生，直接觀測各種不導電樣品。
臺式掃描電鏡利用降低荷電效應樣品杯，更可將開始荷電的放大倍數(shù)提高8倍左右，而且不會影響燈絲壽命，環(huán)境適應性高，*防震，可以放置在幾乎所有的室內(nèi)環(huán)境當中，無需超凈間，采用燈絲、探測器、樣品 臺相對一體化的設計，震動不會引起三者間的相對運動，使成像不受震動影響，可放置在較高樓層。
臺式掃描電鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)，以下提到掃描電子顯微鏡之處，均用SEM代替。 臺式掃描電鏡是一種大型精密儀器，它是機械學、光學、電子學、熱學、材料學、真空技術等多門學科的綜合應用。
臺式掃描電鏡真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分，真空柱是一個密封的柱形容器，真空泵用來在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。
有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類，機械泵加油擴散泵的組合可以滿足配置真空要 求，則需要機械泵加渦輪分子泵的組合。
臺式掃描電鏡成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中，真空柱底端即為密封室，用于放置樣品。
之所以要用真空，主要基于以下兩點原因：臺式掃描電鏡電子束系統(tǒng)中的燈絲 在普通大氣中會迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM時需要用真空以外，平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成像的電子更多。
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