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等離子鍍膜設(shè)備是一種小型射頻（RF）等離子磁控濺射鍍膜儀器系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括所有必需的配件，如300W（13.5mhz）射頻電源、2"磁控濺射頭、石英真空室、真空泵和溫度控制器。它是制作一些金屬和非金屬的又好又便宜的實(shí)驗(yàn)幫手。
在鍍膜領(lǐng)域，鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的重要因素。因此，在評(píng)價(jià)薄膜樣品的性能時(shí)，需要對(duì)薄膜樣品在不同厚度下的性能進(jìn)行測(cè)試。等離子鍍膜設(shè)備集成了真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)，可在高真空蒸發(fā)室中完成薄膜蒸發(fā)，并將蒸發(fā)后的樣品在手套內(nèi)的高純惰性氣體氣氛中儲(chǔ)存、制備和檢測(cè)盒子。蒸發(fā)鍍膜與手套箱相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了蒸發(fā)、封裝、測(cè)試等過程的全封閉生產(chǎn)，使整個(gè)薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個(gè)環(huán)境氣氛可控的完整系統(tǒng)中，消除了不穩(wěn)定因素的影響。有機(jī)大面積電路制備過程中的大氣環(huán)境因素，保證了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。
等離子鍍膜設(shè)備精抽太慢的原因有哪些？
1、擴(kuò)散泵可能不太給力。
解決辦法：可以用電離規(guī)單接到擴(kuò)散泵泵口，看擴(kuò)散泵單抽能達(dá)到多少，要看抽的時(shí)間和極限，然后進(jìn)行對(duì)比。
2、真空系統(tǒng)有微漏。
解決辦法：這就需要慢慢檢漏，看看保真空時(shí)間能不能達(dá)不達(dá)標(biāo)。
3、箱體太臟，太臟放氣量就大了。
解決辦法：清洗箱體
4、前級(jí)真空度不行，機(jī)械泵或機(jī)械泵加羅茨泵的極限真空不行。
解決辦法：可以用電阻規(guī)單獨(dú)檢測(cè)前級(jí)管道。
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