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隨著國內(nèi)半導體和光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對高純氣體尤其是高純特種氣體的需求，對氣體質(zhì)量的要求也越來越高。大部分特殊氣體具有毒性、易燃易爆、強腐蝕性和強氧化性，如H2Se、SiH4、Cl2和NF3。因此，如何安全、穩(wěn)定、可靠地儲存和運輸特殊氣體越來越受到企業(yè)的關注。下面高純特氣閥門就來談談特種氣體安全運行管理注意事項。
1、嚴格按照安全操作規(guī)程操作
特種氣體系統(tǒng)在投入使用之前，已經(jīng)將安全設計理念貫穿其中，特種氣體系統(tǒng)的運行和維護都有相應的標準操作規(guī)程。特種氣體系統(tǒng)的換瓶、維護等日常操作應由兩人進行，并進行監(jiān)督，確保每一步操作都按照安全步驟進行。盡管如此，人為因素仍然是造成特種氣體事故發(fā)生的最主要因素。事故統(tǒng)計表明，幾乎所有特種氣體責任事故都是由操作人員未嚴格按照操作規(guī)程操作造成的。
特種氣體經(jīng)營管理人員必須取得危險化學品經(jīng)營安全資質(zhì)、壓力容器和壓力管道經(jīng)營資質(zhì)。此外，相關人員上崗前必須接受特種氣體設備操作、維護、操作及異常處理的專業(yè)培訓。值得注意的是，許多特殊氣體事故往往是由具有一定經(jīng)驗的熟練操作人員造成的。究其原因，操作人員已經(jīng)度過了新手對特種氣體的恐懼階段，感覺自己掌握了特種氣體的專業(yè)知識。因此，他們在特種氣體操作過程中注意力不集中，跳過了安全操作程序的一些步驟，最終導致事故發(fā)生。
2、注意特殊氣體系統(tǒng)的狀態(tài)和儀表值的變化
特種氣體運營管理中一個很重要的關鍵詞就是“變”。一般情況下，可以從特種氣體系統(tǒng)故障發(fā)生前或發(fā)生故障但未報警時系統(tǒng)狀態(tài)或儀表值的變化來發(fā)現(xiàn)異常。
經(jīng)營者應當每天對特種氣體系統(tǒng)進行多次現(xiàn)場檢查和巡回檢查。特殊氣體系統(tǒng)的狀態(tài)和儀表值是點檢和巡檢的重要內(nèi)容，如壓力、溫度、重量等，也包括所有氣體檢測儀的檢測值。在標準抽查表中，對特種氣體儀表的值有一個管理值。例行檢查時，操作者應檢查各項值是否在管理值范圍內(nèi)。如果超過管理值，經(jīng)營者必須立即查明原因。
值得注意的是，作為特種氣體操作人員，對特種氣體系統(tǒng)的狀態(tài)變化要有足夠的敏感性。即使某些值的變化在管理值范圍內(nèi)，也要分析變化的合理性。此外，雖然系統(tǒng)狀態(tài)和儀器值在管理值范圍內(nèi)，但并沒有發(fā)生變化，這也是一種異常表現(xiàn)。需要檢查傳感器等電子元件是否出現(xiàn)故障。
3、特種氣體泄漏應急處理
特種氣體作業(yè)現(xiàn)場對每一次特種氣體泄漏都有應急處置程序，還需要定期進行特殊氣體泄漏的培訓和演習。
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