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對(duì)多種氣體的快速監(jiān)測(cè)、報(bào)警、極低濃度的測(cè)量、寬廣的測(cè)量區(qū)域、高靈敏的響應(yīng)是半導(dǎo)體工業(yè)的要求之一。深紫外光刻工藝特別關(guān)注氨、胺、N-甲基吡咯烷酮NMP、酸等的濃度測(cè)量。當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大的光刻膠發(fā)生反應(yīng)時(shí)，半導(dǎo)體器件的質(zhì)量將受到深刻影響。傳統(tǒng)和古老的方法大多采用間接測(cè)量和分析方法。這些方法包括沖擊過(guò)濾法、離子色譜法和化學(xué)熒光法，這些方法分析速度太慢，操作太復(fù)雜，價(jià)格昂貴，測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確。
AMC空氣分析證明，深紫外光刻工藝深受多種微污染物的影響，對(duì)許多微污染物特別敏感，如氨氣或酸性氣體，會(huì)對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來(lái)危害。雖然隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展，長(zhǎng)期連續(xù)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)已經(jīng)減少，事實(shí)上，空氣分子污染物（AMC）的實(shí)時(shí)測(cè)量對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量非常重要。
AMC空氣分析監(jiān)測(cè)還集成了一個(gè)多點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，可以將氣體依次抽到分析儀或傳感器上，并讀出測(cè)量結(jié)果。嵌入式報(bào)警、報(bào)告和分析軟件由在半導(dǎo)體行業(yè)有多年經(jīng)驗(yàn)的工程師集體開發(fā)。模擬模塊可以輸出4-6臺(tái)分析儀或傳感器的數(shù)據(jù)。每臺(tái)分析儀都配備了一臺(tái)內(nèi)置計(jì)算機(jī)，可以存儲(chǔ)和輸出數(shù)據(jù)。它還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制，遠(yuǎn)程操作可以實(shí)現(xiàn)多層次的管理權(quán)限控制和操作。
AMC空氣分析儀基于CEAS（腔體增強(qiáng)吸收光譜）技術(shù)，儀器使用簡(jiǎn)單，操作方便。所有部件（包括內(nèi)置真空泵、鍵盤、鼠標(biāo)、顯示器等）在幾分鐘內(nèi)就可以開始記錄數(shù)據(jù)。其他大氣中的水蒸氣、CO2、O2、甲烷等不會(huì)對(duì)HCL、HF、NH3等造成交叉干擾。內(nèi)置計(jì)算機(jī)可將大量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)到內(nèi)置硬盤，通過(guò)數(shù)字接口或模擬接口傳輸數(shù)據(jù)，通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程存儲(chǔ)或記錄數(shù)據(jù)，高質(zhì)量的數(shù)據(jù)庫(kù)適用于苛刻的半導(dǎo)體微量氣體應(yīng)用。
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