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質量流量控制器,即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）,不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
氣體質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表,設定電位器,外設、內設轉換和三位閥控開關等。
一般而言，僅對流量進行計量或監(jiān)測時，用質量流量計；需要對流量進行控制時，用質量流量控制器。某些測量場合，用二者皆可，如對毛細管流通能力的測量,當定壓測流的時候,用質量流量計;當定流測壓時,需要用質量流量控制器。注意,當質量流量控制器處于清洗狀態(tài)時,也可以當質量流量計使用,只不過氣壓降要比普通質量流量計大一些。
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