INFICON技術(shù)資料BPG402-SE真空計(jì)

真空計(jì)是測量真空系統(tǒng)中氣體壓強(qiáng)的儀器,種類很多,這里介紹的復(fù)合真空計(jì)是常見的一種,復(fù)合真空計(jì)是由溫差電偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組合而成。下面給大家簡單介紹下各類各類真空計(jì)原理。

?一、溫差電偶真空計(jì)的原理，溫差電偶真空規(guī)管由玻璃制成,通過小管8和真空系統(tǒng)相接,如圖2所示,在規(guī)管內(nèi)的兩根引線上裝有熱絲3,另外兩根引線上焊著一對溫差電偶4,溫差電偶的另一端與熱絲在A點(diǎn)焊接。由于在低壓下,氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比,所以在通過熱絲的電流(90～150mA)一定的條件下,熱絲的溫度隨著規(guī)管內(nèi)真空度的提高而升高,溫差電偶電動勢也就隨之而增大。因此,通過測量溫差電偶電動勢,就可確定出被測系統(tǒng)的真空度,溫差電偶真空計(jì)就是根據(jù)這個(gè)原理制成的。

?二、熱陰極電離真空計(jì)的原理:電離真空規(guī)管就是一只三極管,通過B管與真空系統(tǒng)相接,使用時(shí),在燈絲電路中通以電流5mA,燈絲受熱后便發(fā)射電子,由于柵極為正電壓,使電子加速,中途與氣體分子相碰,氣體的密度越大,碰撞機(jī)會越大,產(chǎn)生的正離子也越多。另外,由于板極電壓為負(fù),便吸引正離子在板極電路中形成板極電流Ip,氣體分子密度越大(即壓強(qiáng)越大),板極電流也越大,反之就小。所以,通過測量板極電流便可以確定氣體的壓強(qiáng),熱陰極電離真空計(jì)就是根據(jù)這個(gè)原理制成的。

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