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一、便攜式空氣顆粒計數(shù)器專為滿足符合ISO14644標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室應(yīng)用而設(shè)計?？衫们度胧降牟蓸雍臀恢米R別管理組織常規(guī)的潔凈室監(jiān)測。靈活的通訊方式——設(shè)置簡單，數(shù)據(jù)傳輸方便。供選擇的無線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作。
二、易于同任意FMS系統(tǒng)集成，METONER4800系列遠(yuǎn)程空氣顆粒計數(shù)器采用標(biāo)準(zhǔn)的RS-485串行通信，METONER4900系列遠(yuǎn)程空氣顆粒計數(shù)器則使用工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)4-20mA接口。
三、靈活方便，可用于所有的遠(yuǎn)程空氣顆粒計數(shù)器應(yīng)用，靈敏度范圍從0.3um到0.5um，流速范圍從0.1cfm到1.0cfm。計數(shù)器上的LED狀態(tài)指示燈可閃爍并可在連接器處設(shè)置信號用于報警。
四、簡便安裝選項，小型不銹鋼外殼適應(yīng)于大多數(shù)制程環(huán)境。因為不帶有會破壞氣流的風(fēng)扇，使METONER4800/R4900系列空氣顆粒計數(shù)器可放置在zui接近敏感的制程區(qū)域。
五、符合ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)的可靠性和準(zhǔn)確性，專用于滿足特殊顆粒計數(shù)要求，儀器與儀器之間的準(zhǔn)確度和再現(xiàn)性符合ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)要求。
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