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質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程，在工作的過程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于*低值(0.1MPa)，有可能控制達不到滿量程值;若高于*高值(0.3MPa)，有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時，無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。
測量控制的自動化
質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示、累積流量自動計量、數(shù)據(jù)自動記錄、計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0～+5V或4～20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,能非常方便地與計算機連接,進行自動控制。
**地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以**地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體，如HCL);有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品*小流量范圍可達0～5sccm，*大流量范圍可達0～200slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%,流量控制范圍是滿量程的2～100%量程比為--50:1,因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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