韓國帕克原子力顯微鏡NX-PTR概述

Park Systems的PTR系列是全自動工業(yè)級線上原子力顯微鏡解決方案，適用于（不限于）長形條、磁頭萬向節(jié)組件(HGA)級滑塊以及單獨滑塊的極尖沉降自動測量。憑借著亞納米級精確度、高重復精度以及高通量，PTR系列是滑塊廠商提高整體產(chǎn)量的理想測量工具。

自動化、快速、精確且可重復的極尖沉降測量

硬盤驅動滑塊制造業(yè)要求工具不僅可以快速且流暢地測量極尖沉降，同時保證最高標準的精確度。這便是Park NX-PTR大展身手的領域。在超精確的極尖沉降測量之外，自動化功能可極大程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤驅動器滑塊廠商的選擇，兼顧樶佳的質量和最高的產(chǎn)量。

高通量，無需多次參考掃描

大多數(shù)原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準確測量極尖沉降，首先是大區(qū)域參考掃描，隨后小區(qū)域高分辨率掃描。多次掃描占用大量時間，且限制了通量的提高。我們的掃描系統(tǒng)帶來真正的平面掃描，有效地降低掃描次數(shù)。此外，True Non-Contact™模式讓探針保持鋒利，在延長使用壽命的同時，提供更持久的高分辨率成像效果。相應地，Park NX-PTR能夠生成感興趣區(qū)域的詳細準確圖像，而無需進行參考掃描，以便修正掃描器偽影。

 * 應用

自動硬盤滑塊測量

隨著硬盤滑塊的尺寸越來越小，復雜性越來越高，提高產(chǎn)量的關鍵在于實現(xiàn)納米級的精確度。

Park NX-PTR恰恰具備這樣的精確且自動的硬盤滑塊測量。

自動極尖沉降測量與分析

借助NX-PTR系統(tǒng)，極尖沉降測量可實現(xiàn)全自動，帶來更高的通量，無論是對于載體、長形條，還是滑塊。

Park Systems的工業(yè)級院里子顯微鏡精確且穩(wěn)定的全自動化極尖沉降(PTR)測量成為可能。

極尖沉降量的監(jiān)測要求測量精度達到0.1 mm，這意味著離測量表面只有20 μm遠。

自動墻角測量與分析

實現(xiàn)各類墻角的自動測量與分析。

自動缺陷測量與分析

實現(xiàn)各類缺陷的全自動測量與分析，如表面尖角。

韓國帕克原子力顯微鏡NX-PTR特點

★ 低噪聲XYZ軸位置傳感器，帶來更精確的掃描效果

NX-PTR擯棄了常見的非線性Z軸電壓信號，而是采用超低噪聲Z軸探測器，從而帶來無與LUN比的形貌高度精度。憑借著行業(yè)領xian的低噪聲Z軸探測器，正向掃描和反向掃描間隙得以降到掃描范圍的0.15%以內(nèi)，甚至可以忽略不計，而這時Z軸形貌信號所無法企及的。

★ 熱漂移和滯后極小，大大降低探針漂移

NX-PTR具備極為突出的熱穩(wěn)定性和機械穩(wěn)定性，從而大大降低熱漂移，實現(xiàn)更為精確的測量。一般情況下，橫向熱漂移率低于100 nm/°C，而垂直熱漂移率則低于200 nm/°C。

★ 測量控制自動化，釋放您的雙手

NX-PTR配有自動化軟件，操作起來輕而易舉。您只需要選擇想要的測量程序，并設定相應的懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點參數(shù)，便可取得多位置分析。此外，Park的用戶友好型界面讓您能夠隨意創(chuàng)建自定義作業(yè)程序，以便您wan全發(fā)揮NX-PTR的實力，滿足所有的測量需求。創(chuàng)建新的作業(yè)程序極為簡單。創(chuàng)建新測量文件只需要10分鐘左右的時間，而修改現(xiàn)有的測量文件則不超過5分鐘的時間。

★ Park NX-PTR的自動化系統(tǒng)具備：

·自動、半自動和手動模式，讓您掌控全局

·各自動程序的可編輯測量方法

·測量過程實時監(jiān)測

·自動分析所獲取的測量數(shù)據(jù)