掃描電子顯微鏡知識(shí)介紹

來源：奧達(dá)科學(xué)有限公司 2023年12月05日 15:07

　　掃描電子顯微鏡的適用范圍：

　　1、生物學(xué)：種子、花粉；

　　2、醫(yī)學(xué)：血球、病毒；

　　3、動(dòng)物學(xué)：大腸、絨毛、細(xì)胞、纖維；

　　4、材料：陶瓷、粉末、環(huán)氧樹脂；

　　5、化學(xué)、物理、地質(zhì)、冶金、礦物、污泥、機(jī)械、電機(jī)及導(dǎo)電性樣品，如半導(dǎo)體(IC、線寬量測(cè)、斷面、結(jié)構(gòu)觀察)電子材料等。

　　掃描電子顯微鏡基礎(chǔ)知識(shí)具有以下的特點(diǎn)：

　　(1) 可以觀察直徑為0 ～ 30mm的大塊試樣(在半導(dǎo)體工業(yè)可以觀察更大直徑)，制樣方法簡(jiǎn)單。

　　(2) 場(chǎng)深大、三百倍于光學(xué)顯微鏡，適用于粗糙表面和斷口的分析觀察;圖像富有立體感、真實(shí)感、易于識(shí)別和解釋。

　　(3) 放大倍數(shù)變化范圍大，一般為 15 ～ 200000 倍，對(duì)于多相、多組成的非均勻材料便于低倍下的普查和高倍下的觀察分析。

　　(4) 具有相當(dāng)高的分辨率，一般為 3.5 ～ 6nm。

　　(5)可以通過電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像的質(zhì)量，如通過調(diào)制可改善圖像反差的寬容度，使圖像各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖像選擇器，可在熒光屏上同時(shí)觀察不同放大倍數(shù)的圖像或不同形式的圖像。

　　(6) 可進(jìn)行多種功能的分析。與 X射線譜儀配接，可在觀察形貌的同時(shí)進(jìn)行微區(qū)成分分析;配有光學(xué)顯微鏡和單色儀等附件時(shí)，可觀察陰極熒光圖像和進(jìn)行陰極熒光光譜分析等。

　　(7) 可使用加熱、冷卻和拉伸等樣品臺(tái)進(jìn)行動(dòng)態(tài)試驗(yàn)，觀察在不同環(huán)境條件下的相變及形態(tài)變化等。

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