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超純氣體是指氣體中雜質(zhì)的含量非常低，純度高達(dá)99.999%以上的氣體。它們?cè)谠S多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用，包括制作電子元件、光學(xué)元件、太陽(yáng)能電池、化學(xué)分析等。
超純氣體的制備大多是從工業(yè)氣體加以純化，有吸附法、吸收法、薄膜擴(kuò)散法、電解法、生化法、輻射法、光解法、低溫精餾法、催化法等。以氮?dú)鉃槔?，超純氮?dú)饪梢詮目諝庵刑崛?，通過(guò)低溫吸附的方法純化。而粗氬也可以從合成氨弛放氣中提取，再經(jīng)純化而得超純氣體。
超純氣體在各個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。例如，在電子元件制造過(guò)程中，純度高達(dá)99.999%的氫氣可以用于去除氧化層，從而保證芯片的質(zhì)量。另外，高純度氮?dú)庖部梢杂糜谥圃煊袡C(jī)LED器件，這些器件具有高亮度和長(zhǎng)壽命等優(yōu)點(diǎn)。
除了電子元件制造外，高純度氣體在化學(xué)分析、生物制藥、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用。例如，在生物制藥過(guò)程中，高純度氧氣可以用來(lái)增強(qiáng)細(xì)胞的代謝活性，從而提高生產(chǎn)效率。在太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中，純度高達(dá)99.999%的氫氣可以用來(lái)清洗晶體硅片，從而提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。
總之，超純氣體的制備和應(yīng)用是一個(gè)重要的課題。通過(guò)采用先進(jìn)的制備技術(shù)，并采取有效的措施來(lái)保持氣體的高純度，可以得到高純度氮?dú)?、氫氣、氧氣等氣體，在各個(gè)領(lǐng)域中有廣泛應(yīng)用。
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