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硅鉬棒真空管式爐是一種采用高純度硅鉬合金作為發(fā)熱元件的特種高溫設(shè)備，其核心部件由多組U型硅鉬棒呈對(duì)稱式排布構(gòu)成加熱區(qū)，在真空或保護(hù)性氣氛環(huán)境下可實(shí)現(xiàn)1800℃的極限工作溫度。該設(shè)備采用雙層水冷不銹鋼爐殼設(shè)計(jì)，配合高精度PID智能控溫系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)±1℃的溫控精度，并配備多重安全聯(lián)鎖保護(hù)裝置。爐管通常選用高純度氧化鋁或石英材質(zhì)，通過特殊法蘭結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)快速密封，真空度可達(dá)10-3Pa量級(jí)。設(shè)備集成有氣體凈化系統(tǒng)、壓力傳感器和數(shù)字式流量控制器，支持動(dòng)態(tài)氣氛調(diào)節(jié)功能，滿足材料燒結(jié)、晶體生長(zhǎng)等精密熱處理工藝需求。
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