真空聯(lián)接的密封性能取決于聯(lián)接處的泄漏和真空材料的放氣。對(duì)任何真空系統(tǒng)總希望漏、放氣量越小越好，但由于漏、放氣量與密封型式、密封材料、加工精度及裝配質(zhì)量等諸因素有關(guān)，故在聯(lián)接處總會(huì)存在一定的漏、放氣量，因此可根據(jù)真空系統(tǒng)工作的性質(zhì)、真空室工作應(yīng)力的高低及其出口處抽氣速度的大小提出要求。 　　真空系統(tǒng)中的壓力在高于10-5Pa真空范圍內(nèi)廣泛使用合成橡膠、環(huán)氧樹(shù)脂和塑料。當(dāng)真空度提到壓力10-7Pa的真空范圍時(shí)，這些密封材料就不能用了，需要應(yīng)用超高真空的密封材料如金或銅做墊圈，而真空殼體不能用軟鋼，需要改用不銹鋼。 　　超過(guò)真空系統(tǒng)內(nèi)的氣體狀態(tài)是動(dòng)態(tài)平衡狀態(tài)。系統(tǒng)內(nèi)的壓力極限，一方面與泵的有效抽速有光，另一方面與來(lái)自真空殼體及其內(nèi)部的零部件的氣流量有關(guān)。因雖有系統(tǒng)的有效抽速由于泵有結(jié)構(gòu)尺寸和費(fèi)用等原因，總存在實(shí)際限制。所以，減少氣流量就成為達(dá)到超高真空狀態(tài)的基本設(shè)計(jì)目標(biāo)，成為選擇超高真空材料的主要準(zhǔn)則。 　　作為真空系統(tǒng)內(nèi)部用的材料，要求飽和蒸汽壓低，為了減少慢性解吸和體出氣，要求能耐450℃高溫烘烤，而不降低機(jī)械強(qiáng)度和不發(fā)生化學(xué)和物理?yè)p傷。作為真空系統(tǒng)殼體材料，要求能忽略氣體滲透，承受得住大氣壓的壓力，烘烤期間耐空氣侵蝕和不發(fā)生漏氣。此外，要求選用的材料，加工制作容易，價(jià)廉易得。 　　對(duì)于真空低于10-7Pa的超高真空，雖然天然和合成橡膠是理想的密封圈材料，彈性好，裝配成真空密封后法蘭螺栓受力很小，而且可以多次重復(fù)使用。但由于超高真空系統(tǒng)要求密封圈材料耐250℃烘烤，實(shí)際上可供選用的幾種橡膠材料都不能滿足要求。真空度更高(即壓力更低)的超高真空，則必須采用金屬密封。

?