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ANELVA原為日本真空設(shè)備制造商，后被佳能（CANON）收購(gòu)整合，成為其工業(yè)技術(shù)板塊的核心子品牌，專注高精度真空計(jì)量與控制系統(tǒng)研發(fā)?，主要服務(wù)于?半導(dǎo)體制造?、?精密鍍膜?、?科研實(shí)驗(yàn)?等工業(yè)場(chǎng)景，提供真空環(huán)境下的壓力監(jiān)測(cè)與過程控制解決方案?。 ANELVA以超高真空為基礎(chǔ)，主要事業(yè)內(nèi)容是半導(dǎo)體制造裝置、存儲(chǔ)設(shè)備制造裝置、液晶制造裝置、太陽(yáng)電池制造裝置、研究開発小規(guī)模生產(chǎn)裝置，其真空組件有真空泵、真空測(cè)量設(shè)備、分析儀器、真空零部件等。