近日，國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)正式發(fā)布六項(xiàng)與芯片制造相關(guān)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司作為全國(guó)氣體驗(yàn)證平臺(tái)單位，深度參與了標(biāo)準(zhǔn)的制定工作，進(jìn)一步推動(dòng)我國(guó)電子特種氣體質(zhì)量控制體系的規(guī)范化與系統(tǒng)化建設(shè)。

     本次發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)包括：

GB/T 14600-2025《電子氣體 一氧化二氮》

GB/T 18867-2025《電子氣體 六氟化硫》

GB/T 26250-2025《電子氣體 砷化氫》

GB/T 14851-2025《電子特氣 磷化氫》

GB/T 14601-2025《電子特氣 氨》

GB/T 45133-2025《氣體分析 混合氣體組成的測(cè)定 基于單點(diǎn)和兩點(diǎn)校準(zhǔn)的比較法》

       這六項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)聚焦于集成電路制造過(guò)程中對(duì)電子工業(yè)氣體的核心需求，圍繞氣體組分類(lèi)別、檢測(cè)限設(shè)定及分析方法規(guī)范等關(guān)鍵環(huán)節(jié)展開(kāi)，對(duì)提升檢測(cè)結(jié)果的重復(fù)性與再現(xiàn)性、推動(dòng)行業(yè)檢測(cè)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)具有重要意義。

 華愛(ài)色譜依托在高純氣體痕量分析領(lǐng)域的深厚積累，深度參與了標(biāo)準(zhǔn)中多個(gè)關(guān)鍵技術(shù)條目的制定與驗(yàn)證，尤其在痕量雜質(zhì)識(shí)別、檢測(cè)限確認(rèn)和方法學(xué)評(píng)估等方面發(fā)揮了重要作用，為標(biāo)準(zhǔn)的科學(xué)性與可操作性提供了堅(jiān)實(shí)支撐。