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預(yù)算200萬 清華大學(xué)采購原子層沉積系統(tǒng)
2022年12月01日 11:24:25 來源：化工儀器網(wǎng) 作者：吳吳吳 點(diǎn)擊量：4860

清華大學(xué)預(yù)算200萬購置1套原子層沉積系統(tǒng)。

　　【化工儀器網(wǎng) 市場(chǎng)商機(jī)】原子層沉積是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍?cè)诨妆砻娴姆椒?。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處。但在原子層沉積過程中，新一層原子膜的化學(xué)反應(yīng)是直接與之前一層相關(guān)聯(lián)的，這種方式使每次反應(yīng)只沉積一層原子。
 
　　近日，清華大學(xué)就“清華大學(xué)原子層沉積系統(tǒng)購置項(xiàng)目”發(fā)布公開招標(biāo)公告，預(yù)算200萬，購置1套原子層沉積系統(tǒng)，項(xiàng)目情況如下。
 
　　項(xiàng)目基本情況
 
　　項(xiàng)目編號(hào)：CMEETC-227XO113KK533(清設(shè)招第20221139號(hào))
 
　　項(xiàng)目名稱：清華大學(xué)原子層沉積系統(tǒng)購置項(xiàng)目
 
　　預(yù)算金額：200.0000000 萬元(人民幣)
 
　　最高限價(jià)(如有)：200.0000000 萬元(人民幣)
 
　　采購需求：
 
采購需求
 
　　設(shè)備用途介紹：原子層沉積設(shè)備用于制備原子尺度的Al2O3、TiO等金屬氧化物材料，可在平板襯底、溝槽結(jié)構(gòu)表面、不規(guī)則樣品表面沉積均勻、致密的原子層級(jí)別的薄膜。設(shè)備可用于生長(zhǎng)多種氧化物薄膜，可應(yīng)用于材料學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、微電子、光電子、能源、催化、納米技術(shù)、太陽能電池等領(lǐng)域。
 
　　簡(jiǎn)要技術(shù)指標(biāo)：前驅(qū)源鋼瓶容量 50 毫升；前驅(qū)源脈沖時(shí)間可精確控制到 0. 015s. 以 TMA 為例，其脈沖時(shí)間可短到0.015s；膜厚均勻性：≤±1.5% 1-sigam (以 Al2O3 熱生長(zhǎng)方式為例，4 英寸硅片)；詳見公告附件。
 
　　合同履行期限：合同簽訂后200日內(nèi)完成設(shè)備交貨、安裝及調(diào)試工作。
 
　　本項(xiàng)目( 不接受  )聯(lián)合體投標(biāo)。
 
　　申請(qǐng)人的資格要求
 
　　1.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購法》第二十二條規(guī)定；
 
　　2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求：
 
　　本項(xiàng)目不專門面向中小企業(yè)預(yù)留采購份額
 
　　3.本項(xiàng)目的特定資格要求：詳見附件。
 
　　獲取招標(biāo)文件
 
　　時(shí)間：2022年12月01日  至 2022年12月08日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至19:00。(北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外)
 
　　地點(diǎn)：北京市海淀區(qū)車公莊西路乙19號(hào)華通大廈B座南塔14層
 
　　方式：詳見杜建。
 
　　售價(jià)：￥500.0 元，本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和
 
　　提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)
 
　　提交投標(biāo)文件截止時(shí)間：2022年12月21日 14點(diǎn)00分(北京時(shí)間)
 
　　開標(biāo)時(shí)間：2022年12月21日 14點(diǎn)00分(北京時(shí)間)
 
　　地點(diǎn)：北京市海淀區(qū)車公莊西路乙19號(hào)華通大廈B座南塔14層
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