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工信部對(duì)《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測(cè)試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)公開(kāi)征集意見(jiàn)
2023年11月17日 10:46:04 來(lái)源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：19337

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化工作的總體安排，現(xiàn)將申請(qǐng)立項(xiàng)的《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測(cè)試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版項(xiàng)目和《環(huán)境污染防治設(shè)備  術(shù)語(yǔ)》等38項(xiàng)推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃項(xiàng)目予以公示（見(jiàn)附件1、2、3），截止日期為2023年12月16日。

　　【化工儀器網(wǎng) 標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布】  半導(dǎo)體設(shè)備是集成電路制造的核心設(shè)備之一，對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有至關(guān)重要的作用。為了適應(yīng)行業(yè)發(fā)展需求，提高設(shè)備性能和質(zhì)量，工信部制定了《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測(cè)試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)范設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)、測(cè)試方法、操作規(guī)程等方面的內(nèi)容。
 
　　這196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)涉及了半導(dǎo)體設(shè)備的多個(gè)方面，包括設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)、測(cè)試方法、操作規(guī)程、維護(hù)保養(yǎng)等方面的內(nèi)容。其中，《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測(cè)試方法》主要規(guī)定了集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備的測(cè)試方法，包括設(shè)備的性能測(cè)試、可靠性測(cè)試、安全性測(cè)試等方面的內(nèi)容。
 
　　根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化工作的總體安排，現(xiàn)將申請(qǐng)立項(xiàng)的《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測(cè)試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版項(xiàng)目和《環(huán)境污染防治設(shè)備  術(shù)語(yǔ)》等38項(xiàng)推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃項(xiàng)目予以公示(見(jiàn)附件1、2、3)，截止日期為2023年12月16日。
 
　　具體原文如下：
 
　　公開(kāi)征集對(duì)《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測(cè)試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、1項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版和38項(xiàng)推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃項(xiàng)目的意見(jiàn)
 
　　根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)化工作的總體安排，現(xiàn)將申請(qǐng)立項(xiàng)的《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測(cè)試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版項(xiàng)目和《環(huán)境污染防治設(shè)備  術(shù)語(yǔ)》等38項(xiàng)推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃項(xiàng)目予以公示(見(jiàn)附件1、2、3)，截止日期為2023年12月16日。如對(duì)擬立項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目有不同意見(jiàn)，請(qǐng)?jiān)诠酒陂g填寫(xiě)《標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)反饋意見(jiàn)表》(見(jiàn)附件4)并反饋至我司，電子郵件發(fā)送至KJBZ@miit.gov.cn(郵件主題注明：標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)公示反饋)。
 
　　公示時(shí)間：2023年11月16日-2023年12月16日
 
　　聯(lián)系電話：010-68205241
 
　　地址：北京市西長(zhǎng)安街13號(hào) 工業(yè)和信息化部科技司
 
　　郵編：100804
 
　　附件：
 
　　1.《半導(dǎo)體設(shè)備 集成電路制造用干法刻蝕設(shè)備測(cè)試方法》等196項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂計(jì)劃(征求意見(jiàn)稿)
 
　　2.《雪蓮養(yǎng)護(hù)貼》等1項(xiàng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)外文版計(jì)劃(征求意見(jiàn)稿)
 
　　3.《環(huán)境污染防治設(shè)備 術(shù)語(yǔ)》等38項(xiàng)推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)制修訂計(jì)劃(征求意見(jiàn)稿)
 
　　4.標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)反饋意見(jiàn)表
 
　　工業(yè)和信息化部科技司
 
　　2023年11月16日
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