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國家標準計劃《納米技術(shù) 拉曼光譜法測量二硫化鉬薄片的層數(shù)》公開征求意見
2023年12月04日 13:21:19 來源:化工儀器網(wǎng) 點擊量:17834

近日,國家標準計劃《納米技術(shù) 拉曼光譜法測量二硫化鉬薄片的層數(shù)》進入公開征求意見階段,反饋日期截止到2023年12月5日。

  【化工儀器網(wǎng) 標準發(fā)布】二硫化鉬薄片具有優(yōu)異的電學、光學、力學、熱學等性能,在學術(shù)屆和工業(yè)屆都引起了廣泛的關(guān)注,已成為新一代高性能納米光電子器件國際前沿研究的核心材料之一。二硫化鉬薄片作為二維層狀材料的代表,其層數(shù)或者厚度顯著影響其光學和電學等性能。例如,單層二硫化鉬薄片為直接帶隙半導體,多層二硫化鉬薄片為間接帶隙半導體,且?guī)峨S層數(shù)增加而逐漸降低,但場效應(yīng)遷移率和電流密度會隨之提高,進而通過調(diào)控二硫化鉬薄片的層數(shù)實現(xiàn)與其相關(guān)的光電探測器、光電二極管、太陽能電池和電致發(fā)光器件的可控性能。所以,快速準確地表征二硫化鉬薄片的層數(shù)對于其生產(chǎn)制備和相關(guān)產(chǎn)品開發(fā)具有重要的指導意義,也是深入研究二硫化鉬薄片的物理和化學性質(zhì)的基礎(chǔ)和其開發(fā)應(yīng)用的核心。
 
  近日,國家標準計劃《納米技術(shù) 拉曼光譜法測量二硫化鉬薄片的層數(shù)》進入公開征求意見階段,反饋日期截止到2023年12月5日。
 
  本文件由TC279(全國納米技術(shù)標準化技術(shù)委員會)歸口,主管部門為中國科學院,起草單位為中國科學院半導體研究所、河北大學和泰州巨納新能源有限公司。本文件規(guī)定了使用拉曼光譜法測量二硫化鉬薄片的層數(shù)的方法。本文件適用于利用機械剝離法制備的、橫向尺寸不小于2µm的2H堆垛的二硫化鉬薄片的層數(shù)測量?;瘜W氣相沉積法制備的2H堆垛的二硫化鉬薄片可參照本方法執(zhí)行。
 
  拉曼光譜作為一種快速、無損和高靈敏度的光譜表征方法,已被廣泛地應(yīng)用于二硫化鉬薄片的層數(shù)測量。比如,單層和多層二硫化鉬薄片的拉曼光譜中,高頻拉曼振動模——E2g 1和A1g的峰位差值隨二硫化鉬薄片的層數(shù)而遞增,兩層及以上的二硫化鉬薄片中低頻拉曼振動模——呼吸(LB)模和剪切(S)模的峰位與二硫化鉬薄片的層數(shù)具有確定的對應(yīng)關(guān)系。同時,對于制備在氧化硅襯底上的二硫化鉬薄片,二硫化鉬下方硅襯底的拉曼峰的強度也與其上二硫化鉬薄片的層數(shù)呈現(xiàn)單調(diào)變化的關(guān)系。因此,利用上述拉曼光譜參數(shù)特征,就可以準確地測量二硫化鉬薄片的層數(shù)。
 
  由于不同方法制備的二硫化鉬薄片在結(jié)晶性和微觀結(jié)構(gòu)上存在較大差異,現(xiàn)有任何一種表征方法均不是具有確定意義的通用手段。在實際應(yīng)用中需要根據(jù)二硫化鉬薄片的結(jié)晶性和微觀結(jié)構(gòu)特點來選擇一種或多種合適的表征方法對其層數(shù)進行綜合分析。
 
  本文件的制定,將為利用拉曼光譜法進行機械剝離方法制備的二硫化鉬薄片的層數(shù)測量提供科學可靠的依據(jù)以及標準的實驗方法,并促進拉曼光譜在納米技術(shù)領(lǐng)域及二維材料產(chǎn)業(yè)中的推廣應(yīng)用,為二硫化鉬薄片等二維材料的生產(chǎn)和研究提供技術(shù)指導。
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