四探針薄膜電阻測(cè)試儀
2025-06-05
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FT-391系列手持式四探針?lè)阶铚y(cè)試儀
FT-391 Series handheld four-probe resistance tester
一.概述
參照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā贰?/span>GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā?，采集集成電路恒流源系統(tǒng)，提供便捷的操作模式，便攜式外型結(jié)構(gòu)，可充電式電源系統(tǒng)，待機(jī)時(shí)間長(zhǎng)，上下限設(shè)定.
二.四探針薄膜電阻測(cè)試儀功能介紹
手持式外型結(jié)構(gòu)適用于車(chē)間生產(chǎn)、品管抽檢，外出、攜帶測(cè)量等要求測(cè)量的場(chǎng)所；也適用于中小型半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè).
三.四探針薄膜電阻測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)
規(guī)格型號(hào) | FT-391A | FT-391B | FT-391C |
1.方塊電阻范圍 | 10～2.00×102Ω/□ | 10～2.00×103Ω/□ | 10～2.00×104Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 1～2×103Ω-cm | 1～2×104Ω-cm | 1～2×105Ω-cm |
3.分辨率 | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
4.顯示讀數(shù) | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 | ||
5.測(cè)試方式 | 單電測(cè)量 | ||
6.工作電源 | 5V.1000mA | ||
7. 誤差 | ≤4.5%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） | ||
8.選配 | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 選配4：探針材質(zhì)：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針; 2. | ||
FT-392系列手持式四探針測(cè)試儀
FT-392 Series hand-held four-probe tester
規(guī)格型號(hào) | FT-392A | FT-392B | FT-392C |
1.方塊電阻范圍 | 0.1～2.00×102Ω/□ | 0.1～2.00×103Ω/□ | 0.1～2.00×104Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 0.01～2×103Ω-cm | 0.01～2×104Ω-cm | 0.01～2×105Ω-cm |
3.分辨率 | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
4.顯示讀數(shù) | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 | ||
5.測(cè)試方式 | 單電測(cè)量/ | ||
6.工作電源 | 5V.1000mA | ||
7. 誤差 | ≤4.5%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果） | ||
8.選配 | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 選配4：探針材質(zhì)：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針 | ||
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